北京
国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“喷胶工艺腔体以及基板处理设备”的专利，公开号CN121988505A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种喷胶工艺腔体以及基板处理设备。喷胶工艺腔体包括腔体、基板卡盘和环设于卡盘周侧的收集区。所述基板卡盘包括一主体区域以及从其边缘向外延伸出的一环形裙部。该环形裙部的上表面被构造成一朝其外周边缘向下倾斜的倾斜表面，且该环形裙部的外周边缘在水平投影上延伸至所述收集区的上方，使得由倾斜表面引导的废液能够越过卡盘与收集区之间的间隙并直接滴落至收集区内。本申请的技术方案主要通过对基板卡盘的结构优化，实现废液在重力引导下越过关键间隙直接进入收集区。可以从源头上避免废液进入间隙导致腔室污染的问题，保证废液收集的彻底性，提升工艺环境的洁净度。
天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息186条，此外企业还拥有行政许可23个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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