北京
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有投资者在互动平台向微导纳米提问：“目前3d结构先进存储芯片与固态电池是否更加需要臭氧源ald设备？”
针对上述提问，微导纳米回应称：“尊敬的投资者，您好！在ALD设备中，水蒸气与臭氧均可作为氧源。公司出厂的设备能够为客户提供多种配置选择，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。感谢您的关注！”
本文源自：市场资讯
作者：公告君
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