北京
国家知识产权局信息显示，清河电子科技（山东）有限责任公司申请一项名为“一种阶梯式通孔标靶结构、加工方法、终端及介质”的专利，公开号CN122028756A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，一种阶梯式通孔标靶结构、加工方法、终端及介质，属于IC载板技术领域，阶梯式通孔标靶结构包括设置于IC载板基体上的通孔，通孔的上方同步加工有第一盲孔，通孔的下方加工有第二盲孔，第一盲孔和第二盲孔分别位于载板上下两侧表面，第一盲孔和第二盲孔均与通孔同轴设置，通孔的孔径小于第一盲孔和第二盲孔的孔径，第一盲孔和第二盲孔的孔径相同，第一盲孔和第二盲孔用于曝光机的光学对位识别。同轴且等孔径的上下盲孔，配合小于盲孔孔径的通孔结构，既实现了层间几何基准的贯穿传递，又通过孔径差异形成物理阻隔，减少加工能量在层间的传导干扰，确保双面标靶识别的一致性和稳定性，为多层图形叠加提供精准的对位参照。
天眼查资料显示，清河电子科技（山东）有限责任公司，成立于2021年，位于济南市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本6178.2554万人民币。通过天眼查大数据分析，清河电子科技（山东）有限责任公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目10次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息51条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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