国家知识产权局信息显示,擎方科技(济南)有限公司申请一项名为“一种抛光游星轮、双面抛光机及抛光方法”的专利,公开号CN121989117A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本发明公开一种抛光游星轮、双面抛光机及抛光方法,抛光游星轮包括:外侧轮体,与双面抛光机相配合,以使抛光游星轮整体定位,外侧轮体上开设有若干容纳孔;内侧轮体,为若干个,内侧轮体一一嵌装于容纳孔内,内侧轮体上开设有放置待抛光基板的装夹口,内侧轮体相对于外侧轮体转动,以带动基板进行旋转运动;定位导向机构,设置于外侧轮体与内侧轮体之间,定位导向机构与外侧轮体和内侧轮体配合,以引导内侧轮体相对外侧轮体旋转,进而限制基板的运动轨迹偏移。本发明能够在抛光过程中对内侧轮体进行引导,避免其发生偏移,同时降低运动摩擦干涉,从而稳定内侧轮体的旋转轨迹,进而减少基板加工偏差,并提升光掩模玻璃基板的表面平坦度。
天眼查资料显示,擎方科技(济南)有限公司,成立于2023年,位于济南市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析,擎方科技(济南)有限公司参与招投标项目6次,专利信息8条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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