第1名:光刻机(EUV / 先进DUV)
难度:★★★★★ 天花板
全球垄断:ASML 阿斯麦
国内现状:仅上海微电子90nm,先进制程完全空白
中美差距:10年以上
一句话:芯片工业皇冠上的明珠,最难没有之一
第2名:量测设备(前道量测+缺陷检测)
难度:★★★★☆
全球垄断:科磊 KLA(独占全球55%)
国内现状:国产化率 1%~3%
中美差距:6~10年
原理:原子级显微镜+AI识别,精度到0.1纳米
第3名:涂胶显影设备
难度:★★★★
全球垄断:东京电子 TEL(垄断90%+)
国内现状:芯源微唯一突破
中美差距:7~9年
作用:光刻前涂胶、光刻后显影,光刻机的“搭档”
第4名:离子注入机
难度:★★★☆
全球垄断:应用材料、Axcelis
国内现状:万业企业(凯世通)
中美差距:5~7年
作用:给硅片“掺杂”,决定芯片导电性能
第5名:刻蚀设备(先进制程)
难度:★★★
全球龙头:泛林 LRCX、应用材料
国内龙头:中微公司、北方华创
中美差距:3~5年
特点:国产突破最快、最成熟的高端设备
第6名:薄膜沉积(PECVD/ALD)
难度:★★★
全球龙头:应用材料
国内龙头:北方华创、拓荆科技
中美差距:4~6年
总结∶
1. 光刻机 → 张江高科
2. 量测 → 中科飞测
3. 涂胶显影 → 芯源微
4. 离子注入 → 先导基电
5. 刻蚀 → 中微公司、北方华创
6. 沉积 → 北方华创、拓荆科技
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