北京
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国家知识产权局信息显示，布勒股份公司；先进能源工业公司申请一项名为“通过电容和电感部件的实施具有优化的等离子体耦合的多个电极的RF溅射”的专利，公开号CN122003731A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，一种设备包括真空腔室，该真空腔室被配置为产生用于等离子体处理的基本上大气真空环境；位于真空腔室的外部的射频（RF）电源；RF匹配网络，该RF匹配网络可操作地耦合到RF电源；以及安装在真空腔室内的多个电极，该多个电极被配置为通过RF匹配网络从RF电源接收RF功率信号。在溅射操作期间，RF功率信号同时被递送到多个电极。该多个电极和一组电气部件能够操作以管理用于耦合RF功率信号的电感性和电容性电抗，从而在溅射操作期间提供更期望的等离子体耦合。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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