北京
国家知识产权局信息显示，浙江先导热电科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆加热盘”的专利，公开号CN122003139A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆加热盘，包括有环形导热板，所述环形导热板包括有加热底板和加热侧板，所述加热底板和加热侧板之间形成有能够容纳圆晶的加热腔，所述加热底板上设置有底部安装槽，所述底部安装槽内设置有底部电热丝，所述加热侧板上设置有螺旋槽，所述螺旋槽靠近环形导热板中心一侧设置有圆弧槽底，所述螺旋槽内连接有侧面电热丝，所述加热底板上设置有安装孔，所述安装孔内放置有垫高球。本发明提供了一种晶圆加热盘，能够控温精准，有效提升晶圆边缘温度，从而显著改善整体温度均匀性，从而提高器件的良品率。
天眼查资料显示，浙江先导热电科技股份有限公司，成立于2017年，位于衢州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江先导热电科技股份有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息131条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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