国家知识产权局信息显示,江苏佳合盛科技有限公司申请一项名为“一种涂布用光刻胶涂抹装置”的专利,公开号CN121995701A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种涂布用光刻胶涂抹装置,包括有:箱体;用于将待涂布基板运送至涂布工位的输送组件,其设于箱体上;以及设于箱体上方的涂布与清洗一体式切换机构;涂布与清洗一体式切换机构包括:旋转切换组件,用于带动两个狭缝涂布模头在涂布工位与清洗工位之间切换;供胶与排废组件,用于向涂布位模头供胶,向清洗位模头抽残胶。本装置通过环形变径导槽与第一弹性伸缩杆的配合,实现“旋转避让‑精确定位”自动补偿,切换时模头自动避让复位,确保喷嘴与基板或清洗件间距恒定;外凸段设计使工作位与清洗位精准对接,有效保障涂布膜厚均匀性与清洗效果。
天眼查资料显示,江苏佳合盛科技有限公司,成立于2021年,位于宿迁市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本1176.1万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏佳合盛科技有限公司专利信息6条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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