专访 | VAT Michael Young：六十余载专攻一事，以技术为刃追逐“中国速度”

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（来源：SEMI）

在VAT中国区总经理Michael Young看来，半导体行业什么时候复苏，千人千面，所处的环节不同，感受到的时间也不同。

“很多人都在谈论这一天什么时候来，但这是一个很笼统的议题。晶圆厂投资盖厂是一个时间节点，设备厂接到订单也是个节点，零部件收到设备商订单又是另一个节点，每个人在半导体生态链所处环节的不同，实际感受到的时间也是不同的。”

据VAT Group2025年第四季度及全年业绩，Q4销售额实现2.57亿瑞士法郎，订单额实现3.05亿瑞士法郎，环比增长28%。2025全年订单额为10.33亿瑞士法郎，营收为10.73亿瑞士法郎，高于部分分析师预期。

在当下AI巨大的基建浪潮与资本的疯狂涌入中，原本处于下行周期的半导体市场有了复苏抬头的趋势，VAT公布的亮眼业绩自然也离不开先进的逻辑芯片和存储芯片的贡献。

在VAT中国区总经理Michael Young看来，半导体行业什么时候复苏，千人千面，所处的环节不同，感受到的时间也不同。

“很多人都在谈论这一天什么时候来，但这是一个很笼统的议题。晶圆厂投资盖厂是一个时间节点，设备厂接到订单也是个节点，零部件收到设备商订单又是另一个节点，每个人在半导体生态链所处环节的不同，实际感受到的时间也是不同的。”

《半导体制造》最近采访了Michael Young，我们想了解这个在半导体真空阀门领域深耕60余载的王者，是如何一直做到保持领先地位的。在采访中，Michael分享了这家企业的成长逻辑与竞争优势，以及真空阀门技术在未来半导体行业发展中的应用前景。他还特别提到了，在他眼中中国半导体产业的独特魅力与发展机遇。

Michael认为，正是几十年如一日的积累造就了VAT如今的地位。“很多企业才开始做他们第一个阀门产品的时候，我们已经与客户打了几十年的交道，很明白客户需要什么，也很清楚我们的产品和技术路线该怎么走。”

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一家很“纯”的公司

成立于1965年的VAT，官网上主要产品那栏只有真空阀门这一个类目。

“我任职过这么多家公司，VAT是一个比较‘纯’的公司，以技术为导向，非常专注。”Michael说道，“在60年的发展时间里，我们和客户的合作非常紧密，不管是技术路线还是产品路线，我们成长策略非常清晰。”

VAT所专注的真空阀门是真空系统的核心零部件，起到开闭、控制流量、调节压力等作用，通常为隔离真空区域（如工艺腔室）或控制气体进出量，由于处于不同位置的阀门功能各不相同，因此种类众多，可以分为隔离阀、控制阀、传输阀等。

由于真空阀门适用于半导体任何需要在真空环境下进行的工艺，因此对密封性、流量控制的精确性、颗粒产生、振动和冲击、以及稳定性和可重复性等要求要显著高于普通的真空阀门。

VAT拥有全真空阀门产品矩阵，这一个个看似不起眼的零部件，被安装在机台上，安装在不同设备商的产品上，被应用在不同的工艺中，使用在不同晶圆厂的不同产线上，每个环节，每个阶段都可能出现意想不到的问题。

Michael指出，VAT有两组重要的技术人员，一组负责帮助客户做产品选型跟导入，另一组是所谓的现场服务工程师，专门去实地现场解决问题。

也正是因为深入客户的设计与实际生产中，VAT依此积累了丰厚的产品经验与“错题”库，这恰恰是与竞争对手拉开差距的核心所在，Michael表示，这几十年积累的经验可以很好地应对客户的问题，无论是组装上的问题，还是实际工艺上的问题，VAT都有足够的数据和经验来解决问题。

同样，研发投入也是VAT保持领先的基础，“我们每年研发的投入远超过竞争对手的营收，这也意味着我们之间的差距会越来越大。”Michael说道。

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由点及面，技术迭代迎新

半导体前道制造设备分为干法设备及湿法设备，干法设备主要包含：等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备、去胶/ 热处理设备等。

由于干法设备通常需要在真空条件下，利用高频高压使电极周围的气体电离形成等离子体，再对晶圆进行加工，因此真空系统在干法设备中起到至关重要的作用。

Michael认为真空阀门或者说真空技术在半导体工艺不断推进迭代的情况下，它的重要性会越来越高，相应地，工艺的提升会对真空技术要求越来越高。

包含真空阀门在内的真空系统零部件基本都有着严苛的参数要求和较高的研发生产难度，仅在材料选择上便需要结合应用、环境条件及要实现的真空度而考虑诸多因素。且还需要进行复杂而精密的焊接、表面处理、清洁等工艺，都需要行业中较长时间的积累。

“未来薄膜沉积的厚度越来越薄，光刻的线宽越来越窄，那么对于真空技术而言，就要求控制速度更快，灵活性更高，反应也要更灵敏，这是未来发展的必然趋势。”Michael表示。

根据中金测算，真空系统在设备及晶圆厂备件采购占比约20%~30%。

VAT下一步的规划就是着眼于真空阀门周边的部分，甚至是更为广泛的舱体部分，基于现有的产品技术为客户提供更全面的成套解决方案。

Michael表示，VAT成长策略很清楚，我们的目标是提供给客户量身定做的解决方案，让客户只需专注于自己的强项部分，这样既能增加客户粘性，又能实现业绩的增长。

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“Being global, Act locally”

VAT2025年上半年的销售额有74%来自于亚太地区，值得注意的是，其中有约35%的销售直接面向中国OEM厂商。

谈到中国半导体市场，Michael直言中国半导体市场的特性就是“中国速度”及“闭环的半导体生态链”。

“在国外一个新产品开发和验证过程是以年为单位计算的，但在中国不一样，”Michael说道，“而且只要有新东西出来，基本上每个相关环节的公司都会去验证它。”

在Michael眼里，中国工程师聪明又勤奋，产业的迭代速度相当惊人，这在海外是不常见到的，对于VAT而言要时刻跟上中国客户的脚步。

基于“中国速度”所延伸出的另一大特点便是激烈的竞争，材料与设备是国家大力扶持的产业，也是中国半导体产业相对较为薄弱的环节，这恰恰是机遇所在，因此每年有不少的新企业进入不同的细分领域。

Michael坦言在中国市场开展业务眼光亦要长远，短时间的风光并不代表未来也是如此，有不断的新企业加入进来，也有不断变化的环境。

“半导体行业就是技术挂帅，别的行业需要做做市场，做做营销，但半导体最终是拿产品出来说话的，”Michael强调，“特别是零部件企业，很多公司可能在组织架构上不如大型公司一样齐备，但它们能快速发展起来纯粹就是靠技术的优势。”

对于未来VAT在中国市场的规划，Michael提到了“Being global，Act locally”，即拉进与客户的距离。他透露，VAT将在中国设厂，进一步缩短交货期并在售后服务上实现全球化的布局，无论是中国客户在本地的业务还是在海外的业务，VAT都有相应地区的技术人员及时地跟进解决。

此外，VAT中国区团队也将积极引入先进的技术，帮助中国客户一同成长。“我时常和客户说，不要把我们中国团队当成是单纯的供应商，我们的目标是跟客户一起成长，共同跟总部争取最好的条件来支持本地客户的需求，”Michael说，“我们也希望帮助中国半导体行业快速成长，让VAT最先进的技术，尽快在中国落地生根。”

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