北京
国家知识产权局信息显示，盛吉盛精密装备（上海）有限公司申请一项名为“一种晶圆检测系统”的专利，公开号CN121793690A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开一种晶圆检测系统，包括EFEM工位、2D工位和3D工位，在所述EFEM工位、所述2D工位和所述3D工位两两之间通过运行定位控制程序的机械手臂实现晶圆搬运；所述EFEM工位用于将晶圆从上料盒区域装载至所述2D工位，所述2D工位用于检测晶圆水平方向上的质量瑕疵，并对晶圆上的若干位置进行定位采集，得到定位坐标数据，所述3D工位用于根据所述定位坐标数据，检测晶圆在竖直方向上的质量瑕疵，待3D工位检测完毕，机械手臂将晶圆搬运回上料盒区域。本发明通过设置EFEM工位用于晶圆自动传片，设置2D工位实现水平向晶圆瑕疵检测，设置3D工位实现垂直向晶圆瑕疵检测，有效提升晶圆的检测精准度和检测效率。
天眼查资料显示，盛吉盛精密装备（上海）有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，盛吉盛精密装备（上海）有限公司财产线索方面有商标信息4条，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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