北京
金融界2025年8月26日消息，国家知识产权局信息显示，苏州佑伦真空设备科技有限公司取得一项名为“一种离子束蚀刻机的晶圆载台的旋转轴装置”的专利，授权公告号CN223273264U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型提出一种离子束蚀刻机的晶圆载台的旋转轴装置，包括载台板，所述载台板上固定安装旋转臂，所述旋转臂用于与外部的旋转驱动结构连接，第一伺服电机输出端连接减速机，磁流体固定在连接套上，磁流体内套设的轴的一端穿过离子束蚀刻机的刻蚀室的一侧壁与载台板连接，所述连接套远离离子束蚀刻机的刻蚀室的一端固定套接有安装架，所述磁流体内套设的轴的另一端依次与所述减速机和安装架套接，远离离子束蚀刻机的刻蚀室的所述磁流体内套设的轴的端末设有一组阻挡块组，安装架与阻挡块的同侧设有多个缓冲装置，通过缓冲装置与阻挡块的配合，来限制所述磁流体内套设的轴的旋转角度，以此来辅助限制所述载台板的旋转角度。
天眼查资料显示，苏州佑伦真空设备科技有限公司，成立于2016年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1250.6667万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州佑伦真空设备科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目39次，财产线索方面有商标信息88条，专利信息180条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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