北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122013120A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体技术领域，公开了一种工艺腔室及半导体工艺设备。工艺腔室包括第一工艺管；排气腔体，连接在第一工艺管的外壁上，排气腔体内设置有隔离壁，隔离壁将排气腔体分隔为靠近第一工艺管的第一排气腔以及远离第一工艺管的第二排气腔，第二排气腔沿第一方向的一端与第一排气腔连通；排气管，连接于排气腔体的侧边，与第二排气腔沿第一方向的另一端连通；至少两个排气通孔，沿第一方向排列在第一工艺管上，将第一排气腔和第一工艺管连通；至少两个排气连通管，排气连通管的一端连接隔离壁，另一端连接第一工艺管，以将第二排气腔和第一工艺管连通。本申请提高晶圆的加工质量。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1412次，财产线索方面有商标信息72条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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