北京
国家知识产权局信息显示，弈芯科技（杭州）有限公司申请一项名为“一种面向工艺窗口的光刻仿真与校准方法及系统”的专利，公开号CN121978875A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明公开了一种面向工艺窗口的光刻仿真与校准方法及系统，属于光刻仿真与校准技术领域，其技术方案要点包括，获取光刻工艺基础参数与实测物理参数，得到标准化工艺物理参数数据集；根据标准化工艺物理参数数据集和预设公式，得到多物理效应耦合仿真模型；根据多物理效应耦合仿真模型和量产动态原始数据，得到动态参数波动自适应模型；根据动态参数波动自适应模型和多物理效应耦合仿真模型，得到实测数据集；根据实测数据集和动态参数波动自适应模型，得到光刻工艺最优参数组合，本发明通过量产动态原始数据得到动态参数波动自适应模型，并以实测数据集约束动态参数波动自适应模型进行光刻工艺最优参数组合的寻优。
天眼查资料显示，弈芯科技（杭州）有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本361.64417万人民币。通过天眼查大数据分析，弈芯科技（杭州）有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息15条，专利信息24条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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