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金融界2025年4月4日消息，国家知识产权局信息显示，宁波平恒电子材料有限公司申请一项名为“一种用于改善晶圆边缘研磨率的方法”的专利，公开号 CN 119748256 A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本发明提供一种用于改善晶圆边缘研磨率的方法，所述方法包括：采用化学机械研磨设备对晶圆进行研磨，并将吸附膜边缘的硬度降低1‑4SHA，吸附膜其他区域的硬度保持不变；所述吸附膜边缘的宽度与吸附膜的半径之比为(0.04‑0.07):1。通过调整吸附膜边缘的硬度，并控制吸附膜其他区域的硬度保持不变，结合调控边缘调整的比例，无需改变研磨参数，在不影响晶圆中心研磨率的情况下，提高了晶圆边缘的研磨率，进而提升晶圆良率，具有良好的工业应用前景。
天眼查资料显示，宁波平恒电子材料有限公司，成立于2021年，位于宁波市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币，实缴资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波平恒电子材料有限公司参与招投标项目1次，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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