渗透全过程曝光！俄罗斯间谍如何在 ASML 窃取机密？

去年年底爆出。近日，荷兰媒体详细批露了该工程师间谍行为的详细过程。

据荷兰《新鹿特丹商业报》（NRC）4月1日报道，43 岁的俄罗斯工程师German ・A被指控秘密向俄罗斯提供来自ASML、恩智浦（NXP）和台积电（TSMC）的敏感技术信息，据称是为了协助在俄罗斯建造一座具备 28 纳米制程能力的晶圆厂。他的非法所得约为 4万欧元，目前面临 18 至 32 个月的监禁。虽然German ・A 一人无法窃取半导体的完整设计方案，但一个相互配合的团体有可能助力俄罗斯的半导体生产。

数百份机密文件被盗

German 被指控向俄罗斯提供了来自ASML、格罗方德（GlobalFoundries）、恩智浦、台积电和格罗方德的机密技术材料，其中包括半导体生产手册和各种芯片制造机器的资料。据调查人员称，他们发现他获取了ASML的 105 份内部文件以及 88 份与台积电相关的文件。

这些材料并不包含建造晶圆制造设备的完整蓝图，也没有更重要的内容（例如，一座晶圆厂本身的设计方案，或者如何设计制程技术）。不过，这些材料都被标注为机密，能够为建立一条基本的半导体生产线提供支持，这条生产线能够以 28 纳米级的制程技术生产芯片，这样的技术水平对于军事应用来说已经足够了。调查人员认为，他通过云存储和即时通讯应用程序分享了这些数据，并在莫斯科交出了一个优盘，据称在此过程中获利约 4万欧元。

据报道，German 还与试图获取一台化学气相沉积设备一事有关，这可能是为俄罗斯未来的芯片工厂配备设备的努力之一。然而，根据报道，这台设备先是被转运到了以色列，然后就一直没有交付。

2024 年 8 月，在国家情报机构报案后，German被拘留。一个月后，ASML和恩智浦正式被告知存在间谍活动嫌疑。他的案件目前正在法庭审理中，当局怀疑他与俄罗斯情报部门有关联。这两家公司都参与了调查，并对这名前雇员提出了控诉。

虽然German 不太可能独自窃取在俄罗斯建造一个功能齐全的半导体生产设施所需的所有设备的蓝图，但这样的间谍网络却有可能做到这一点，并使这个敌对国家的半导体生产得以恢复。

漫长的职业生涯

在 2024 年被捕之前，German 在半导体研发和生产行业有着长期的从业经历。2008 年和 2009 年，他在比利时的研究中心 imec 实习。之后，他加入了希腊的研究机构国家科学研究中心 “德谟克利特”（NCSR），后来又开始在格罗方德位于德国德累斯顿的 1 号晶圆厂工作。

2015 年，他加入了一家名为 Mapper 的荷兰初创公司，该公司开发了一种基于使用 1 万至 1.3 万条电子束进行大规模并行电子束直写的无掩模光刻技术。2012 年，Mapper 获得了俄罗斯纳米技术公司（Rusnano）的资金支持，这是一家由俄罗斯政府控制的高科技投资机构，并且 Mapper 还在俄罗斯建立了一个小型生产基地，用于制造微机电系统（MEMS）。

2018 年末 Mapper 破产时，在荷兰和美国政府为保护该技术施加的压力下，ASML收购了其资产并接收了其员工。German 是转至ASML的 100 多名工程师之一，在ASML他操作生产电光组件的机器。目前，ASML的员工称German是个 “表现并不突出的人”，而其他人则表示他是一位专注但性格内向的技术人员，沟通存在困难。然而，据《新鹿特丹商业报》报道，German 的名字出现在与ASML相关的四份专利申请文件中，其中最新的一份一个月前刚刚公布。这些文件列出了几位发明者，尚不清楚German 在这些发明中是否发挥了重要作用。

对他数字活动的审查显示，他在 2020 年 12 月的两天内访问了受限文件，尽管他并无使用这些文件的需求。当时，公司的内部安全系统并未发出任何警报。《新鹿特丹商业报》咨询的专家认为，泄露的数据包括演示文稿和手册，但不包括建造芯片制造机器或整个工厂所需的核心计划。2021 年ASML将他所从事的工作外包出去时，他的合同到期。

离开ASML后，German 通过职业介绍所寻找科研岗位的工作，但没有成功。2022 年 1 月，在疫情期间，他以临时合同工的身份加入了位于荷兰内梅亨的恩智浦公司，担任工艺技术员。同年 5 月，他联系了内梅亨的一家公司，要求提供一份来自ASM International的二手化学气相沉积设备的报价。起初，这批设备本应运往德国，但他后来将目的地改为了以色列。最终这批设备一直没有交付。现在看来，这是他试图为一个新工厂收集零部件的举动。

他的前妻的陈述显示，到 2023 年末，他与俄罗斯研究人员就建造一座能够使用 28 纳米技术生产芯片的俄罗斯晶圆厂一事进行了接触。当时，俄罗斯的相关实体被列入了黑名单，无法从知名供应商（无论是经销商还是代工厂）那里获得先进芯片。

同年，他在代尔夫特理工大学（TU Delft）担任了一年的职位，但一直比较孤立，调查人员在那里没有发现他有盗窃行为的迹象。

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