打造半导体材料装备领先企业

证券时报记者 王一鸣

从初创时20余位员工、租赁厂房与设备起家，发展至今拥有3000多位员工，总资产规模近140亿元，市值超过900亿元；从鲜为人知的小公司起步，到如今超越国内同行，与国际领先技术接轨的高端设备供应商与服务商，晶盛机电（300316）不断实现突破：5年实现上市，15年持续快速稳健增长，保持细分行业技术与高端市场双领先地位。

“一路走来，我们始终坚定‘打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业’初心，不断实施技术创新、产品创新，让企业一直保持着旺盛的生命力。”晶盛机电董事长曹建伟博士说。

回顾公司15年的发展历程，一幢白色三层小厂房是晶盛机电的起点，2006年公司由浙江大学的教授和博士带领的近10人团队所创立；彼时该团队租下厂房与设备，除去购置计算机与刀量具，手中仅留十余万元。尽管如此，他们的目标却不低：打破国外垄断，实现全自动控制单晶硅生长炉的国产化。在国内高端半导体客户的支持下，公司终于在2007年3月（成立的第5个月）诞生了国内首台自主研制的全自动80A型单晶硅生长炉，一举打破了高端单晶炉技术长期被国外垄断的产业格局，填补了国内空白。

“科研是我们的强项，也是我们唯一的出路。”曹建伟介绍说，专注与创新是晶盛机电与生俱来的基因，通过技术的差异化来建立企业的竞争优势，以技术创新和对客户需求深度挖掘的双轮驱动模式来开发产品。一直以来，他坚持亲手抓研发，带领团队一直秉承着1-2年研发新一代设备的频率。

2009年和2011年，晶盛机电承接了两项国家科技重大专项半导体装备课题，“300mm硅单晶直拉生长设备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”课题先后落户公司，团队挑起重任，不仅顺利通过专家组验收，还相继研发成功油冷却CUSP磁场、水冷夹套技术，高精密单晶双夹持装置、连续引晶技术等多项国内外首创技术。

“以客户为中心，让手中的每个产品成为行业第一”是晶盛机电研发团队的目标也是对自我的要求。经过对“大尺寸半导体级硅单晶生长设备的关键技术”的攻关，公司研发出了超导磁场匹配技术、CCD视频技术等多项创新技术，实现了智能化全自动单晶硅生长技术的重大突破，第四代单晶炉技术国际领先。今年1月，由晶盛机电研发的“大尺寸单片式硅外延生长装备的关键技术研发及其应用”“12英寸硅片双面研磨机”“12英寸晶片边抛机”科技成果鉴定会，三项设备的关键技术指标达到了国际先进水平，可以替代进口，这意味着晶盛机电在半导体材料核心装备国产化的征程上又取得重大进展。

如今，公司已成长为国内领先的半导体材料装备和LED衬底材料制造的高新技术企业，围绕硅、碳化硅、蓝宝石三大主要半导体材料开发出一系列关键设备，并适度延伸到材料领域。公司将持续加快推进国际化战略，积极强化企业组织能力的建设，招募优秀人才，整合资源，驱动技术和管理创新，确保公司竞争力的可持续性，将公司打造成全球技术及规模领先的半导体材料装备和高端晶体材料生产商和设备服务商。