北京
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国家知识产权局信息显示，力晶积成电子制造股份有限公司申请一项名为“去除过滤器中的气泡的方法”的专利，公开号CN122032188A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，去除过滤器中的气泡的方法包括以下步骤。提供化学液供应系统，化学液供应系统包括过滤器及除泡装置，其中过滤器包括滤芯，除泡装置包括气液分离槽。执行化学液补充制程工艺，以将化学液通过过滤器进料到气液分离槽中，直到化学液在气液分离槽中达到预定液位。执行第一侧除泡制程工艺，使化学液自气液分离槽沿第一循环路径循环地流动，以去除滤芯的第一侧的气泡。执行第二侧除泡制程工艺，使化学液自气液分离槽沿第二循环路径循环地流动，以去除滤芯的第二侧的气泡。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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