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半导体材料再告急,这次是HF

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半导体用氢氟酸价格预计6月底至7月将大幅上调。

半导体工艺用氢氟酸供应链拉响警报,预计6、7月价格连续上调。由于原材料无水氢氟酸价格较年初暴涨40%,半导体工艺用氢氟酸供应链已陷入紧急状态。究其原因,主要是中东相关冲突引发霍尔木兹海峡封锁带来的连锁影响。

行业消息显示,韩国SOLBE、ENFTechnology、Husung等氢氟酸厂商自本月起,采购的中国产无水氢氟酸价格已较年初上涨约40%。这些企业将无水氢氟酸与超纯水(DIWater)混合加工后,供应给半导体厂商用于生产。业内人士表示:“SOLBE等向三星、SK海力士供应的半导体用氢氟酸价格,预计6月底至7月将大幅上调。”并称,“原材料价格已大幅上涨,三星与SK海力士只能接受涨价。”

原材料涨价逻辑

无水氢氟酸由萤石与硫酸反应制成,硫酸的原料是硫磺,而硫磺是原油与天然气的精炼副产物。受霍尔木兹海峡封锁影响,全球超过30%的硫磺供应中断,直接推高硫酸价格,进而带动无水氢氟酸价格同步上涨。

全球最大硫酸生产国中国因中东硫磺断供,已开始限制硫酸出口,优先保障国内工业需求。硫酸广泛应用于化肥、铜镍冶炼、电池正极材料、钢铁、炼油等领域。

据数据显示,中国国内硫酸价格4月中旬已涨至2100元/吨,较年初涨幅约130%。业内人士指出:“硫酸涨价,氢氟酸跟着涨。”硫酸在无水氢氟酸成本中占比原本约30%,预计将升至50%以上。

氢氟酸在半导体中的关键作用

氢氟酸是半导体生产必需核心材料,主要用于蚀刻工艺,也用于清洗工艺,去除晶圆表面残留的氧化膜与金属污染物。

半导体标准用氢氟酸(HF)为将无水氢氟酸用超纯水稀释至49%浓度的水溶液。

2019年日本出口管制三大关键材料中,高纯度氟化氢正是其中之一。氢氟酸与氟化铵(NH₄F)混合可制成缓冲氧化物蚀刻液(BOE),蚀刻速度更慢、更均匀,适用于精细图案制程。

韩国半导体工厂年氢氟酸用量约6万吨,BOE用量约9万—10万吨。韩国可实现硫酸自给,由高丽锌、LSMnM等有色金属冶炼副产物(SO₂)生产。但无法生产无水氢氟酸,导致本轮冲击直接承压。韩国半导体材料企业使用的无水氢氟酸90%依赖中国进口。

值得一提的是,BGF Eco Materials通过子公司Fluorine Korea投入1500亿韩元推进无水氢氟酸,在蔚山建设年产5万吨工厂,目标今年四季度量产,产能可覆盖韩国近一半用量。但距离投产仍有约6个月时间,短期价格上涨难以避免。

另一位业内人士表示:“继氦气、六氟化钨(WF₆)、丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)之后,本轮危机又轮到无水氢氟酸。”并指出,“中东地缘风险与中国资源管控,正同时扼住韩国半导体材料产业的咽喉。”

氦气、六氟化钨、PGMEA均告急

今年3月,氦气成为了半导体供应链最关键的风险点。氦气是液化天然气(LNG)生产的副产品,广泛用于半导体制造中的等离子刻蚀、沉积工艺,以及晶圆背面冷却,卡塔尔约占全球供应量的三分之一。由于卡塔尔拉斯拉凡工业综合体受到袭击,卡塔尔能源公司因此警告称,LNG 设施受损可能影响长期供应合同的履约。该公司首席执行官萨阿德・卡阿比表示,袭击已影响该国约 17% 的 LNG 出口能力,恢复可能需要 3 至 5 年。氦气现货价格已大幅飙升,行业估算涨幅超过50%。

4月,多位行业人士透露,关东电化、中央玻璃等日本六氟化钨供应商,已向三星电子、DB Hitech等韩国半导体企业告知原料供应受阻的情况。知情人士表示:“5—6 月可依靠现有钨库存维持供应,但下半年情况无法保证。” 该人士还补充:“已要求韩国客户寻找SK特种材料、厚成等替代供应商。”三星电子对日本产六氟化钨的依赖度高于SK海力士,急需转向韩国本土供应商。SK海力士除使用SK特种材料、厚成的产品外,还部分采用中国企业派瑞(Peric)的货源,相对更有缓冲空间。其他部分晶圆代工厂,则被迫紧急完成韩国产六氟化钨的工艺验证。通常更换工艺材料仅验证环节就需一年半以上,如今行业紧迫到不得不省略部分流程。

此外,业内消息人士透露,日本主流光刻材料供应商已通过韩国分公司,向三星电子、SK海力士等半导体客户告知原料采购受阻情况,部分厂商计划于近期正式通报。此次短缺的核心原料为丙二醇甲醚(PGME)与丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)。二者是广泛应用于各类电子材料中的关键溶剂,用于溶解其他物质的液体或气体类原料。PGME、PGMEA 是光刻胶(PR)、稀释剂(Thinner)、抗反射涂层(BARC)、旋涂硬掩膜(SOH)、高带宽内存(HBM)临时键合胶等产品的必需原料,几乎覆盖光刻图案化工艺全品类材料。

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