恒运昌真空取得等离子体装置相关专利，等离子体产生装置可独立控气高效管理

来源：新浪证券-红岸工作室

5月8日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“等离子体产生装置及等离子体加工设备”的专利，授权公告号CN224205298U，授权公告日为2026年5月5日。申请号为CN202520899792.4，申请公布日期为2026年5月5日，申请日期为2025年5月7日，发明人范天赐、刘涛，专利代理机构深圳市世纪恒程知识产权代理事务所，专利代理师陈满谊，分类号H05H1/26、H05H1/46。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种等离子体产生装置及等离子体加工设备，涉及等离子体加工技术领域，其中，该等离子体产生装置包括等离子体产生主体以及多个输气装置，等离子体产生主体具有多个进气口和一个等离子体出口，以及连通多个进气口和一个等离子体出口的多个等离子体产生腔室，每个输气装置与一进气口连通，以使输气装置分别向对应的等离子体产生腔室输送工艺气体。等离子体产生腔室用于工艺气体解离并且生成等离子体，任意两个等离子体产生腔室的出气端可通断连接，以使两个等离子体产生腔室中解离的等离子体可以汇聚后从等离子体出口排出。每个等离子体产生腔室中的气体流量、压力和成分都可以独立控制，以使系统管理更加高效。

恒运昌成立于2013年3月19日，于2026年1月28日在上海证券交易所上市，注册地和办公地均为广东省深圳市。该公司是国内等离子体电源领域的佼佼者，专注等离子体电源及相关配件研发生产，技术实力强，具有较高投资价值。

恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发、生产、销售及技术服务，还引进相关核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及半导体设备、小盘均衡、中芯国际概念等板块。

2025年，恒运昌实现营业收入5.29亿元，在行业25家公司中排名第21，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，行业平均数为41.44亿元，中位数为14.26亿元。主营业务中，自研产品收入4.15亿元，占比78.38%；引进产品8661.32万元，占比16.36%；技术服务2788.26万元，占比5.27%。净利润方面，2025年为1.14亿元，行业排名15/25，与第一名北方华创的54.09亿元、第二名中微公司的20.64亿元差距较大，行业平均数为6.09亿元，中位数为1.77亿元。

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种基于MEMS流量传感器的封装结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511718126.72025-11-21CN121783294A2026-04-03乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰2射频电源外观专利授权CN202530576887.82025-09-26CN309908228S2026-04-10吴基锴、黄晓东3石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备发明专利公布CN202511222075.92025-08-28CN120984635A2025-11-21乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波4电感耦合式离子源外观专利授权CN202530508853.52025-08-27CN309893090S2026-04-03范天赐、杨博文、阳先峰5基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器实用新型授权CN202520985855.82025-05-19CN224203290U2026-05-05林伟群、章兵6烧结散热板的功放电路板及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510637416.22025-05-16CN120456433A2025-08-08林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩7一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置实用新型授权CN202520974119.22025-05-16CN224203922U2026-05-05黄晓东、吴基锴、林伟群8等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890439.X2025-05-07CN224192118U2026-05-01范天赐、刘涛9气体输送组件及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890014.92025-05-07CN224192116U2026-05-01范天赐、刘涛10等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520899792.42025-05-07CN224205298U2026-05-05范天赐、刘涛11离子源外观专利授权CN202530220855.42025-04-22CN309611196S2025-11-18杨靖、乐卫平12匹配器外观专利授权CN202530200095.02025-04-14CN309612116S2025-11-18戴和新、乐卫平13电压采样电路和电压采样装置实用新型授权CN202520604431.22025-04-01CN224203286U2026-05-05林伟群、郭启亮14一种电感及射频设备实用新型授权CN202520470396.X2025-03-17CN223898122U2026-02-10戴和新、林伟群15一种电感结构及电感线圈安装模具实用新型授权CN202520470388.52025-03-17CN223911506U2026-02-13吴基锴、林伟群16一种电感结构实用新型授权CN202520461387.42025-03-17CN223911515U2026-02-13杨靖、林伟群17一种射频匹配器实用新型授权CN202520463818.02025-03-17CN223912462U2026-02-13黄晓东、林伟群18一种电感结构实用新型授权CN202520465236.62025-03-17CN223911491U2026-02-13吴基锴、林伟群19射频电源外观专利授权CN202530115868.52025-03-12CN309529756S2025-10-03郑孟昌、乐卫平20滤波器外观专利授权CN202530083855.42025-02-25CN309530166S2025-10-03黄晓东、乐卫平21滤波器外观专利授权CN202530083847.X2025-02-25CN309530165S2025-10-03黄晓东、乐卫平22双频匹配器外观专利授权CN202530083845.02025-02-25CN309530164S2025-10-03黄晓东、乐卫平23射频电源外观专利授权CN202530050883.62025-01-24CN309530134S2025-10-03吴基锴、乐卫平24滤波器外观专利授权CN202530050861.X2025-01-24CN309530133S2025-10-03黄晓东、乐卫平25功率合成再分配发生器外观专利授权CN202530044831.82025-01-22CN309530126S2025-10-03杨靖、乐卫平26松不脱安装组件实用新型授权CN202520156074.82025-01-22CN223810010U2026-01-16杨靖、黄晓东27射频电路实用新型授权CN202520157802.72025-01-22CN223928310U2026-02-17林伟群、关广宁、黄磊新28一种射频电源的逆变电路及其本振信号调制电路实用新型授权CN202520140574.22025-01-21CN223785972U2026-01-09林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平29一种射频电源及其逆变器保护电路实用新型授权CN202520140249.62025-01-21CN224021633U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平30一种逆变电路及信号调制电路实用新型授权CN202520140395.92025-01-21CN224021634U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平31一种用于管道内壁的镀膜装置以及等离子体镀膜系统实用新型授权CN202423044917.X2024-12-09CN223481276U2025-10-28乐卫平、唐亚海、杨靖、刘涛32一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器实用新型授权CN202423027145.92024-12-09CN223694047U2025-12-19林伟群、郭启亮、章兵33一种等离子体反应腔体的点火启辉装置及阻抗匹配器实用新型授权CN202423026797.02024-12-09CN223694046U2025-12-19林伟群、郭启亮、章兵34一种用于管道内壁的等离子体喷涂装置实用新型授权CN202423031888.32024-12-09CN223780331U2026-01-09乐卫平、林桂浩、吴基锴、刘涛35一种阻抗调整器的输出调节电路实用新型授权CN202422987888.42024-12-04CN223928291U2026-02-17杨佩铮、林伟群、毛元韬36一种阻抗匹配器及等离子体产生设备实用新型授权CN202422545924.12024-10-21CN223322057U2025-09-09乐卫平、林伟群、唐亚海、谢幸光37电感可调节的阻抗匹配电路、阻抗匹配调节方法、存储介质和等离子体产生装置发明专利公布CN202411469520.72024-10-21CN121907176A2026-04-21乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光38点火电路及等离子体产生装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411446892.82024-10-16CN121886998A2026-04-17林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平39辅助电源电路、射频电源、电路运行方法和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202411430706.12024-10-14CN121863834A2026-04-14林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平40高频阻抗匹配器及等离子体产生装置实用新型授权CN202422341921.62024-09-24CN223141896U2025-07-22乐卫平、唐亚海、姚志毅、谢幸光41阻抗匹配电路、阻抗匹配方法、存储介质和等离子体产生装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411335177.72024-09-24CN121727517A2026-03-24乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光42一种防雷保护电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备实用新型授权CN202422054607.X2024-08-22CN223273857U2025-08-26乐卫平、姚志毅、唐亚海、谢幸光43温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411152507.92024-08-21CN119051615A2024-11-29乐卫平、唐亚海、林伟群、谢幸光44阻抗匹配器和等离子体产生装置实用新型授权CN202422040622.92024-08-21CN223246554U2025-08-19乐卫平、林伟群、姚志毅、谢幸光45匹配器的保护电路及等离子体产生装置发明专利公布CN202411007394.32024-07-25CN118921826A2024-11-08乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛46阻抗匹配方法、装置及等离子体产生装置发明专利公布CN202411007383.52024-07-25CN118942995A2024-11-12乐卫平、林桂浩、唐亚海、姚志毅47多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411007396.22024-07-25CN119010828A2024-11-22乐卫平、林伟群、姚志毅、杨佩铮48多带通的匹配器及等离子体产生装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411007391.X2024-07-25CN119010827A2024-11-22乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛49可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置实用新型授权CN202421787959.X2024-07-25CN222827217U2025-05-02乐卫平、林桂浩、唐亚海、黄晓东50一种阻抗匹配器及等离子体产生装置实用新型授权CN202421788963.82024-07-25CN222884652U2025-05-16乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛

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