北京
国家知识产权局信息显示，苏州艾斯达克智能科技有限公司申请一项名为“晶圆片自动化转运方法”的专利，公开号CN121536626A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体晶圆氮气智能仓储方法，应用于包括过渡净化设备、旋转台组件、密封门组件、晶圆机械手、巷道垛机和气体循环装置的系统。该方法包括：步骤一，进料与预净化；步骤二，缓存与载环整理，利用料取料机械手将载环载体缓存至货架；步骤三，旋转接驳与姿态调整并配合密封门实现气闸，载环载体经旋转台旋转约180°朝向巷道，同时外侧门和内侧门交替开闭形成气闸；步骤四，巷道内转移与存储，由晶圆机械手接取载环载体并转运至巷道垛机完成入库；步骤五，氮气循环与环境维持。本发明通过进料预净化、旋转接驳、双门气闸与氮气循环的协同控制，实现了晶圆片无接触、高洁净、高密度的自动化氮气仓储，有效防止污染和氮气泄漏。
天眼查资料显示，苏州艾斯达克智能科技有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2782.05万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州艾斯达克智能科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息120条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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