从90nm到EUV光源突破：拆解中国光刻机的“长征”与加速度

外媒用“曼哈顿计划”形容中国光刻机，但中国的剧本截然不同

28纳米、300瓦、10万个零件：中国光刻突围路上的关键数字

自主创新的脊梁：中国半导体产业正在静默中完成惊人跨越

为什么说中国光刻机的故事，并非另一个“曼哈顿计划”？

外媒最近议论纷纷，他们用了一个沉重的历史词汇“曼哈顿计划”来比喻中国在极紫外光刻技术上的进展。这个比喻本身就很有意思，它既流露出惊叹，也暗含着一种基于自身历史的误读。中国的科技突破，走的从来不是封闭、孤立的绝密工程路线，而是一条开放创新、汇聚众智的攻坚之路。这种误读，反而让我们更清楚地看到，中国在高端制造领域取得的进步，正在重新定义全球产业的叙事逻辑。

光刻机，被誉为芯片工业皇冠上最耀眼的明珠，它的复杂度确实令人望而生畏。想象一下，要在指甲盖大小的硅片上，雕刻出数百亿个晶体管构成的立体城市，而且各层线路必须完美对齐，错位不能超过一根头发丝直径的四万分之一。这需要将超精密的光源、达到原子级平整度的镜面、纳米级的运动控制等数十个尖端子系统，集成在一台包含超过十万个精密零件的设备中，并确保其长期稳定工作。目前，全球仅有荷兰阿斯麦公司能够制造最先进的EUV光刻机。

正是由于这种极高的技术壁垒，光刻机成为了全球半导体产业链的“命门”所在。也正因如此，2018年之后，中国在获取先进光刻设备，特别是用于7纳米以下制程的EUV光刻机方面，遇到了严峻的挑战。这种局面没有让中国的半导体产业退缩，反而如同一剂清醒剂，极大地凝聚了从国家战略到市场企业自主创新的共识与决心。

事实上，中国的光刻技术攻关是一场静默但坚定的“长征”。早在2006年，国家就启动了旨在突破集成电路制造装备与工艺的“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”重大专项。经过近二十年的积累，我们在成熟制程领域已经建立了扎实的根基。上海微电子装备有限公司（SMEE）生产的90纳米光刻机，已经能够稳定服务于国内的芯片生产线。不要小看90纳米，它足以满足大量工业控制、汽车电子和物联网设备的需求，这部分市场约占全球芯片市场的三成。

而真正的攻坚，发生在更先进的工艺节点上。28纳米是一个关键的技术分水岭，它能够平衡性能、功耗与成本，满足从智能手机到各类通信设备的大部分需求。攻克28纳米光刻机，意味着能够自主覆盖全球约三分之二的芯片市场。目前，上海微电子在28纳米浸没式光刻机上的研发已进入内部测试阶段，这是一次意义重大的攀登。

在最尖端的EUV光刻领域，差距是客观存在的。阿斯麦集结全球超过五千家供应商，投入数百亿美元，历时二十余年才实现商业化。中国在这一领域仍处于早期追赶阶段。但追赶的速度和路径，正显现出中国的特点。例如，中科院和长春光机所联合研发的EUV光源功率已突破300瓦，达到了商业化应用的门槛水准。华为也公布了一项关于EUV光刻机核心部件“反射镜”的控制方法专利。这些点状的突破，正在连成线、构成面。

更值得关注的，是中国半导体全产业链的协同进步。光刻机只是制造环节的一环，而我们在其他关键环节已经涌现出具有全球竞争力的企业。中微半导体公司的等离子体刻蚀设备，已进入台积电最先进的生产线；北方华创在多个关键设备领域跻身全球前列；在芯片设计端，华为海思等企业的设计能力早已位居世界一流。存储芯片方面，长江存储独创的Xtacking架构技术获得了国际巨头的认可，长鑫存储的市占率也在稳步提升。

这种全面进展的背后，是一种新型的、市场与战略更好结合的创新体系在支撑。它不同于单纯的计划指令，也不同于完全自由的市场分散竞争。它体现在区域产业生态的构建上，比如成渝地区的半导体产业沙龙，旨在打通政、产、学、研、投的协作堵点。它也体现在高校科研模式的创新上，像北京大学集成电路学院调整政策，在成果转化公司中只持股而不干预运营，为科研人员“松绑”。

当然，我们必须清醒地认识到，从原型到稳定商用的高良率产品，中间隔着巨大的工程化鸿沟。阿斯麦每台设备背后是数十年的工艺数据积累，这是用时间和无数试错换来的“默会知识”。中国要实现完全自主，必须补上这一课，这需要耐心，也需要持续的投入。

但中国的目标从来不是关起门来另搞一套。全球半导体产业早已是你中有我、深度融合的生态。中国的努力，是在提升自身创新能力的基础上，为全球产业提供更稳定、更多元的选择。从90纳米到28纳米，再到对EUV等前沿领域的探索，这条路径清晰而务实。它不像制造原子弹那样追求瞬间的颠覆，而更像一场围绕核心工业能力的体系化建设。

有行业观察人士预测，到2025年底，28纳米及以上工艺将在中国实现全面的国产化安全可控。而更先进的14纳米乃至更精密的工艺，也将在未来数年内逐步突破。这条路注定不易，但每一步都走得坚实。正如一位产业内人士所言，核心技术的突破，靠不来也求不得，最终依靠的是自主创新的脊梁与持之以恒的担当。中国光刻机乃至整个半导体产业的故事，正是这种担当精神在新时代的生动写照。西方的焦虑或许源于对竞争格局变化的担忧，而中国的专注，则始终在于解决自身发展的课题，并为世界科技的共同进步提供一种新的可能。