三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)可制备高介电常数二氧化铪薄膜 我国布局企业不断增多
三(二甲胺基)环戊二烯基铪,别名三(二甲胺)环戊二烯基铪、环戊二烯基三(二甲胺基)铪,英文简称CpHf,Cas号941596-80-1,分子式C11H18HfN3,分子量370.78,外观为无色至浅黄色透明液体状,相对密度1.56g/cm3,可溶于四氯化碳、烃类等有机溶剂,对空气、水汽敏感。
根据新思界产业研究中心发布的《2025年中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示,三(二甲胺基)环戊二烯基铪具有稳定性较好、蒸气压较高、反应性好等特点,可以利用化学气相沉积法(CVD)、原子层沉积法(ALD)等工艺在基底之上沉积生长二氧化铪(HfO2)薄膜。
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二氧化铪薄膜具有高介电常数特征,可以替代传统的二氧化硅(SiO2)薄膜应用在场效应晶体管栅极介电层制备领域。在芯片制程工艺不断缩小背景下,二氧化铪薄膜可以避免晶体管栅极介电层减薄而导致的其与硅衬底之间界面势垒出现的电子直接隧穿问题。三(二甲胺基)环戊二烯基铪是新型关键晶体管栅极介电层材料之一,在半导体产业中发展空间大。
我国半导体产业发展迅速,芯片自主设计、生产能力不断提升,拉动市场对三(二甲胺基)环戊二烯基铪需求增长,因此我国三(二甲胺基)环戊二烯基铪相关布局企业不断增多。从制备工艺方面来看,我国企业申请的专利有:芯越芯(南京)电子科技有限公司的“三(二甲胺)环戊二烯铪生产方法”,江苏南大光电材料股份有限公司的“三(二甲胺基)环戊二烯基铪及其制备工艺”及其控股子公司南大光电半导体材料有限公司的“一种三(二甲胺基)环戊二烯基铪的新型合成方法”等。
从提供商来看,我国三(二甲胺基)环戊二烯基铪供应机构与企业主要有南京大学材料MO源研究开发中心、合肥安德科铭半导体科技有限公司等。合肥安德科铭半导体科技有限公司控股子公司铜陵安德科铭电子材料科技有限公司于2025年9月5日获得安徽省应急管理厅发放的危险化学品安全生产许可证,许可内容中包括5吨/年的三(二甲胺基)环戊二烯基铪生产能力。
新思界行业分析人士表示,我国三(二甲胺基)环戊二烯基铪产能建设不断增多。2025年5月,江西华特电子化学品有限公司华特电子永修半导体新材料中试基地项目环境影响报告书拟批准公示,一期项目中包括三(二甲胺基)环戊二烯基铪生产线;2025年8月,太和气体(荆州)有限公司高端电子化学品材料项目环境影响报告书受理公示,建设内容中包括30吨/年的环戊二烯基三(二甲胺基)铪产能;2025年9月,浙江先导微电子科技有限公司集成电路关键材料基地产业化扩建项目环境影响评价公示,首批次建设内容中包括30吨/年的三(二甲胺基)环戊二烯基铪产能。
2025年中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告
新思界分析
第一章 三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)总体情况
第一节 三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)定义
一、产品概述(产品定义、产品结构、特性等)
二、发展历史
第二节 三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)周期
一、三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)经济周期
二、三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)增长性与波动性
三、三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)成熟度分析
第三节 三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)产业链分析
一、三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)产业链构成
二、上下游行业关联度分析
第二章 中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)市场环境分析
第一节 政策环境
一、国家三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)规划
二、国家三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)政策
三、政策环境对行业影响分析
第二节 经济及产业环境
一、经济环境分析
二、产业环境分析
第三节 技术环境
一、三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)技术现状
二、三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)技术趋势
第四节 社会环境
第三章 2020-2024年中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)市场运行态势
第一节 2020-2024年中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)生产情况分析
一、2020-2024年三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)产能统计
二、2020-2024年三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)产量统计
第二节 2020-2024年中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)销售情况分析
一、2020-2024年三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)销售量统计
二、2020-2024年三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)销售额统计
三、影响三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)销售的因素分析
第三节 2020-2024年中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)市场需求情况分析
一、2020-2024年三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)需求量统计
二、影响三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)需求因素分析
第四节 供需平衡分析
第五节 2025-2028年三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)发展前景预测
第四章 中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)竞争情况分析
第一节 中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)竞争情况
一、市场集中度分析(市场占有率)
二、进入壁垒分析
第二节 中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)竞争格局分析
一、三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)竞争程度
二、产品替代性分析
第三节 中国三(二甲胺基)环戊二烯基铪(CpHf)竞争策略分析
第五章 重点产品——A市场分析
第一节 A产品分类及主要应用
第二节 2020-2024年中国A市场容量及增长率分析
第三节 2020-2024年中国A供给情况分析...
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