恒运昌科创板IPO上会 高端等离子体射频电源实现量产

国内等离子体射频电源系统企业深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称 “恒运昌”）将于11月14日接受上交所科创板上市审核。恒运昌是2025年第二批被抽中现场检查企业中的首家上会企业，此次闯关标志着国产半导体核心零部件企业正式登陆资本市场主阵地，为产业链自主可控注入强劲动力。作为专精特新重点“小巨人”企业，恒运昌凭借多年技术攻坚与市场积累，在技术、客户、品牌等维度构建起深厚壁垒，成为半导体设备关键瓶颈的破局者。

高端量产及头部客户背书，构筑先发优势

恒运昌是国内极少数实现高端等离子体射频电源系统量产的企业，历经十年研发迭代，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，形成覆盖成熟制程到先进制程的产品矩阵。其中第三代Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，性能对标国际巨头，填补国内空白，第二代Bestda系列则已广泛应用于28纳米成熟制程，为国内晶圆代工厂产能扩张提供关键支撑。

在客户验证与采购层面，公司产品已批量交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并通过中芯国际等龙头终端晶圆厂的准入审核。截至2025年6月30日，公司已有38款自研产品实现百万级收入，24款产品达成千万级收入规模，成为薄膜沉积、刻蚀环节头部设备商的战略级供应商。

凭借先发的技术突破与客户资源积累，恒运昌已建立显著行业优势。据弗若斯特沙利文统计，2024年公司在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位列第一，持续巩固龙头地位。

多维度高壁垒，筑牢竞争护城河

等离子体射频电源系统横跨电力电子、微波与电磁场、等离子体物理等多学科领域，需实现纳秒级时间尺度、埃米级空间尺度的精准控制，任何微小电流波动都可能导致晶圆报废，技术复杂度极高。恒运昌已构建3大基石技术和8大产品化支撑技术体系，涵盖信号采样处理、相位锁定、脉冲控制等关键技术，截止2025年6月30日，公司及其子公司已获授权的境内外专利共计261 项，包括发明专利108 项，发明专利占全部已获授权专利的41.38%，核心技术实力行业领先。

公司始终坚持高强度研发投入，2022年至2024年研发费用分别达2154.21万元、3696.37万元和5528万元，复合年增长率约60.19%，三年累计投入近1.14亿元，占最近三年累计营业收入的11.11%。同时公司承担工信部、科技部的三项国家级课题，组建专业研发团队攻坚前沿技术，为产品迭代与技术领先提供持续保障。

从技术研发到产品量产，恒运昌历经十余年行业深耕，仅产品迭代就耗时多年完成三代升级，研发周期远超普通制造业。在生产端，产品需满足半导体设备及零部件行业“精确复制”要求，等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，且需经过精密的校准和严格的测试流程，以确保性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，能够实现规模化生产下的高标准交付，形成难以快速复制的生产能力壁垒。

打破国际垄断，提升先进制程半导体设备的供应链自主可控

长期以来，全球等离子体射频电源系统市场被MKS、AE等海外巨头垄断，国内半导体设备厂商面临采购成本高、交付周期长、维修服务受限等痛点，甚至遭遇供应链断供风险。恒运昌通过持续技术攻关，成功打破海外厂商数十年的垄断格局，成为国内首家量产出货过亿元的国产等离子体射频电源系统厂商。

公司产品不仅在技术指标上达到国际先进水平，更能提供快速响应的本土化服务，已承接多家晶圆厂进口设备的原位替换及维修业务，有效解决海外供应链断供难题。此次上市募集资金将投向半导体射频电源系统产业化、研发与前沿技术创新中心等项目，进一步扩大产能、提升技术实力，助力先进制程半导体设备关键零部件国产化进程，增强产业链供应链韧性与安全水平。

国产化+AI双轮驱动，打开高盈利空间

根据弗若斯特沙利文数据，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统国产化率不足12%，属于对外依赖度极高的关键环节之一，市场替代潜力巨大。随着国内半导体产业链国产化进程加速，以及国家产业政策对核心零部件自主可控的支持，国产替代需求将持续释放。同时，全球等离子体射频电源系统市场规模正加速增长，2025-2029年中国大陆等离子体射频电源系统市场规模复合增长率预计达12.3%，为恒运昌提供广阔市场空间。

公司通过持续的研发创新来推动产品的多样化和性能提升，推出等离子体直流电源、远程等离子体源等产品，为客户提供了多元化的选择，以满足不同客户在各种应用场景下对等离子体工艺电源的需求，进一步巩固了公司在半导体核心零部件领域的竞争优势。此外，AI芯片制造、数据中心等新兴场景对半导体设备的需求激增，带动等离子体射频电源在先进制程、高功率应用等方面的需求升级，恒运昌凭借7-14 纳米先进制程产品的技术优势，有望充分受益于AI产业发展红利。

财务数据显示，公司近三年业绩持续高速增长，2022年至2024年营业收入从1.58亿元增长至5.41亿元，扣非后归母净利润从1,961.17万元增长至1.29亿元，盈利能力与增长质量同步提升，充分彰显国产替代背景下的盈利潜力。

作为国产射频电源行业的龙头企业，恒运昌科创板上市将实现资本与技术的深度绑定，加速推进半导体核心零部件国产化进程。未来公司将持续深耕等离子体工艺核心零部件领域，有望成长为国际一流的平台型企业，为我国半导体产业高质量发展提供核心支撑。