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金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“具有并联螺旋RF线圈的感应耦合等离子体源”的专利，公开号CN120530475A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一种衬底处理系统包括处理室以及用于产生RF功率的RF产生器。匹配网络与RF产生器连接。N个螺旋线圈连接到匹配网络且包括M匝，其中N和M为大于1的整数。N个螺旋线圈围绕处理室的外表面对称地相互缠绕。N个螺旋线圈并联连接到匹配网络。
本文源自：金融界
作者：情报员
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