北京
金融界2025年8月12日消息，国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“一种基于神经网络的外延生长率计算方法及系统”的专利，公开号CN120470422A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明属于半导体制造领域，提供了一种基于神经网络的外延生长率计算方法及系统，其中方法包括：将不同外延生长工艺下的反射率数据进行标注和预处理得到原始数据集，反射周期数映射模型根据原始数据集进行第一路权重调制和验证得到已训练的反射周期数映射模型，工艺反射‑折射模型对原始数据集进行聚类分析并配置第二路权重得到已训练的工艺反射‑折射模型，经过全连接层特征融合后得到预测模型，将实际外延生长工艺过程中的待测数据集再输入预测模型得到预测干涉周期数和预设折射率进而通过外延厚度计算外延生长率。预测模型充分考虑工艺参数变化对折射率的影响，提升了晶圆的外延生长率计算的准确性和效率。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本211.1508万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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