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金融界2024年11月7日消息，国家知识产权局信息显示，上海升翕光电科技有限公司取得一项名为“成膜装置及真空蒸镀机”的专利，授权公告号CN 221956180 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种成膜装置及真空蒸镀机，涉及真空蒸镀技术领域。成膜装置包括蒸镀腔体、基板、掩模版、推动件和吸附部件；基板和掩模版可活动设置在蒸镀腔体内，掩模版在成膜装置的高度方向上与基板的成膜面相对设置；推动件可活动设置在蒸镀腔体内，推动件可压在基板在成膜装置的长度方向的两端；吸附部件可活动设置在蒸镀腔体内吸附部件可吸附基板背离成膜面一侧的表面。通过推动件在成膜装置的高度方向上压在基板在成膜装置的长度方向的两端，吸附部件吸附基板背离成膜面一侧的表面，可以减小基板的中间部分下垂，从而在基板和掩模版的对位过程中发生的误差减小，进而可以提高OLED的产品良率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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