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金融界2024年9月1日消息，天眼查知识产权信息显示，佛山市联动科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆的动态参数测试装置及测试方法“，公开号CN202410616565.6，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆的动态参数测试装置及测试方法，其中测试装置包括热沉放置座、动态测试机和三维驱动机构，热沉放置座顶端的安装槽用于供带有多个晶圆的晶圆片嵌装，安装槽与晶圆片的底端面围成安装腔；安装腔内设有加热板；安装腔连通有充氮气组件；安装槽的开口处设有连接板，连接板上设有与晶圆一一对应的测试针；连接板的正上方设有PCB板；每个测试针的顶端连接PCB板的焊盘，且底端连接对应的晶圆的引脚；动态测试机设有测试座，测试座具有与至少一个测试针沿Z向对齐并与PCB板接触电连接的测试状态；三维驱动机构用于驱动热沉放置座在X向、Y向和Z向进行移动。本发明在提高对晶圆的动态参数测试效率的同时解决动态开关参数的杂散问题。
本文源自：金融界
作者：情报员
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