上海
截至2026年6月4日 09:55，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.68%，成分股中船特气上涨18.14%，中巨芯上涨9.53%，华峰测控上涨8.38%，艾森股份，江化微等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨2.50%， 冲击3连涨。最新价报2.59元。拉长时间看，截至2026年6月3日，半导体设备ETF华夏近1月累计上涨19.33%，涨幅排名可比基金1/5。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率5.77%，成交额2.07亿元。拉长时间看，截至6月3日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交额4.45亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达35.68亿元。（数据来源：Wind）
资金流入方面，半导体设备ETF华夏近10个交易日内，合计“吸金”1.17亿元。（数据来源：Wind）
截至6月3日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨70.17%。
跟踪精度方面，截至2026年6月3日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.014%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。
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