辽宁
近年来，随着半导体、新能源及高端电子制造产业加速发展，先进制程对高纯电子气体及供气系统的稳定性、安全性与纯度控制提出更高要求。高端电子气体作为半导体制造关键基础材料，其制备能力与供应保障水平已成为支撑产业链安全与先进制程自主化的重要基础，国产替代需求持续提升。
上海启元气体发展有限公司（以下简称“启元气体”或“公司”）立足于半导体设备、电子气体、化学品材料供应及服务，是国内领先的半导体制程解决方案控股企业。公司主导产品“先进制程光刻机用激光气及供气设备”在国内相关领域市场占有率约13%，市场影响力不断扩大。
深耕半导体电子气体领域，提升先进制程配套能力
启元气体成立于2009年，业务涵盖6N级电子气体生产、大宗气体供气及电子设备制造全链条电子气体供应解决方案，获得美国Cymer及日本GIGAPHOTON认证资质，系列产品已相继进入国内外主流先进制程终端供应链，在半导体先进制程配套领域形成较强竞争力。
自创立以来，启元气体始终将技术创新作为企业发展的核心驱动力，开展研发创新并持续加大研发投入，近三年公司的年均研发投入都超过千万元，为核心技术研发与产业化应用提供坚实保障。
在产学研协同方面，公司积极推进创新资源整合，与嘉定区企业技术中心、华东师范大学、华东理工大学开展深度技术合作，并联合上海长三角技术创新研究院共建联合创新中心，围绕高纯电子气体制备、智能供气系统及节能控制等方向持续开展关键技术攻关。
截至2025年，启元气体形成了覆盖气体设备制造及气体生产工艺的自主知识产权体系，拥有发明专利33项、实用新型专利17项、软件著作权13项，并累计对外销售空分设备超过300套，持续夯实技术壁垒与成果转化能力。
突破高纯氮精馏与智能供气关键技术，加快核心装备国产化替代
针对传统制氮设备在氮气提取率、能耗控制及液氮产量调节等方面存在的技术限制，启元气体推进高纯电子气体核心装备技术研发，形成以高效精馏、智能调控及低能耗运行为核心的技术体系。
一方面，公司研发高压塔与低压塔耦合的精馏工艺体系，通过优化塔内热量交换与气液分离效率，显著提升高纯氮提取效率与系统运行稳定性。
另一方面，公司配套研发高效透平膨胀机及智能控制系统，实现设备运行过程中的动态调节与精准控制，有效降低系统能耗，并提升液氮产量的调节灵活性。
基于上述核心技术，公司形成低能耗、高纯度、灵活适配的KDN高纯氮设备，突破传统制氮设备的技术限制，为国内大流量高纯氮制备领域提供技术方案，可广泛应用于半导体、新能源及高端电子制造等领域，为先进制造产业链提供关键配套支撑。
携手企知道科创空间，深化半导体气体领域创新发展布局
凭借技术研发能力与丰富的项目实施经验，启元气体经营规模稳步扩大。2023年至2025年，公司营业收入实现持续增长，年均复合增长率超过40%，呈现出稳健的增长态势。
为进一步提升技术创新效率与市场拓展能力，启元气体签约入驻企知道科创空间。此次合作，启元气体将依托“大数据+大模型”解决方案，打破创新过程中的信息壁垒，高效对接科创情报、高校专家、优质技术成果等资源，打通新品研发全链条创新链路，持续夯实公司的核心竞争力。
面向未来，启元气体将持续加大研发投入，聚焦高纯电子气体、先进供气系统及智能化装备方向深化技术创新，不断提升半导体关键材料与核心装备国产化水平，助力我国高端制造产业链安全稳定发展。
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
