第一步:电路板前整理与摆放
将 PCB、FPC 电路板整齐排版,放入专用托盘、治具;板与板之间留间隙,不重叠、不遮挡,保证等离子气体能通透接触板面、孔内、线路缝隙。去除板面明显粉尘、杂物,避免影响处理均匀度。
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第二步:放入腔体、关闭舱门
将装好电路板的托盘平稳推入真空腔体,密封关闭舱门,确保密闭不漏气。
第三步:抽真空阶段
启动真空泵,把腔体内空气抽出,达到工艺设定真空度;营造低真空环境,为后续稳定起辉、均匀产生等离子做准备。
第四步:通入工艺气体
按工艺需求通入对应气体:
- 氧气:除油污、有机残留、表面活化、粗化
- 氩气:物理轰击、微孔除胶渣、清洁微粒
- 氢氩混合气:焊盘去氧化、提升可焊性
气体流量稳定可控,维持腔体内动态平衡。
第五步:等离子起辉、正式处理
开启射频电源,腔体内气体被电离,产生均匀低温等离子体;高能等离子作用于电路板表面、盲孔、微孔、线路边缘、焊盘:
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把孔内胶渣、碳化层物理轰击分解
清除板面油污、粉尘、助焊剂残留
打断材料表面惰性分子键,做表面活化
微观粗化孔壁与铜面,增强附着力
处理时间根据板型、孔径、材质设定,一般3~15 分钟。
第六步:停止放电、停止供气
工艺时间到达后,关闭电源、停止进气,等离子消失,结束反应。
第七步:破真空、腔体内充气恢复常压
缓慢进气破除真空,腔体回到常压状态,保证电路板不受气压冲击。
第八步:出料、流转下工序
打开舱门取出电路板,即可直接进入:沉铜、电镀、阻焊印刷、压合、SMT 贴片、邦定封装 等下一工序。
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