北京
国家知识产权局信息显示，爱极宝电子工业设备（广州）有限公司申请一项名为“一种PECVD腔室背板”的专利，公开号CN122013154A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明公开一种PECVD腔室背板，涉及半导体制造设备技术领域，包括基板，所述基板上表面开设有进气孔；多个气分流机构，可旋转地设置于所述基板的下表面，且沿所述基板的周向分布，所述气分流机构具有两种气流通道结构,即为排气孔与排气槽；驱动机构，设置于所述基板上，用于驱动多个气分流机构同步旋转，以切换不同气流通道结构至工作位置。本发明通过设置可旋转的气分流机构，在同一背板上集成两种气流通道结构。沉积阶段切换至微孔排气模式，实现低压层流均匀喷气，保障薄膜厚度一致性；清洗阶段切换至宽槽排气模式，产生高动能冲刷气流。这种结构设计使沉积工艺与清洗工艺对流场的不同需求在同一硬件上得以兼顾。
天眼查资料显示，爱极宝电子工业设备（广州）有限公司，成立于2014年，位于广州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本350万美元。通过天眼查大数据分析，爱极宝电子工业设备（广州）有限公司参与招投标项目4次，专利信息1条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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