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可能很少有人听说过一种叫「光刻胶」的东西。但你手里的手机、开的车、家里的空调冰箱,里面每一颗芯片,都得用它。
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简单说大白话:芯片是怎么造出来的?就是拿一束光,照在一层薄膜上,把电路图案「印」上去。这层薄膜就是光刻胶。没有它,光刻机再贵也是个摆设。
这个东西全世界九成以上的产能,在日本人手里。
我看到国外媒体报道里,有一个细节:中国整个半导体产业链里,有一个环节的国产化率到现在还不到10%。芯片设计、封装测试、甚至晶圆代工,中国都在往前跑,唯独这个环节,卡得死死的。
光刻胶。准确地说,是高端半导体光刻胶。
全球半导体光刻胶市场大概30多亿美元。听起来不大,但这30多亿美元卡住的,是下游几千亿美元的芯片制造。日本四家公司,JSR、东京应化、信越化学、富士胶片,加在一起拿走了全球绝大部分份额。光是 JSR 一家,全球市占率就超过27%。
想买?可以。但价格不是买家说了算。
高端光刻胶的价格是按升卖的。一般的 g 线、i 线光刻胶,一升几百块钱。到了 KrF 级别(做28纳米到90纳米芯片用的),一升涨到几千。再往上走,ArF 级别(做28纳米以下的先进制程芯片),一升上万。最顶级的 EUV 光刻胶,市场上报价每升好几万人民币。
让我把这几个缩写翻译一下。KrF、ArF、EUV,说的都是光的波长。波长越短,能印的电路越细,芯片就越先进。记住一个排序就行:g/i 线最低端,KrF 中端,ArF 高端,EUV 最顶级。越往上走,日本人卡得越紧。
为什么日本能卡这么死?
不是因为他们比别人聪明。是因为他们比别人早了三四十年。
日本的化工企业从上世纪七八十年代就开始跟半导体制造厂商一起做光刻胶的研发。那时候芯片还是微米级别的,工艺相对简单。但日本人做了一件很关键的事:他们跟光刻机厂商绑定了。光刻机是荷兰阿斯麦做的,但光刻机上跑什么胶,得胶和机器一起调。日本的 JSR、东京应化就是在那个阶段,跟设备厂商一起跑了无数轮联调,把配方和工艺参数磨合到了极致。
光刻胶不是一个简单的化学品。它是一个「配方」,树脂、光酸、溶剂、添加剂,每一种成分的纯度要求都到了「万亿分之几」的级别。是的,没看错,不是百万分之几,不是十亿分之几,是万亿分之几。一丁点杂质,芯片的良率就崩了。
这种级别的纯度控制和配方积累,不是砸钱砸三五年就能追上的。
2019年的时候发生过一件事,让全世界的半导体行业都紧张了一下。日本政府因为跟韩国的历史纠纷,突然收紧了三种半导体材料对韩国的出口,其中就有光刻胶。三星和 SK 海力士当时八成以上的光刻胶都靠日本进口。消息一出来,韩国半导体行业差点停摆。
你想想,连韩国这种半导体强国,都被日本的光刻胶捏着。中国呢?
中国的情况比韩国还惨。韩国好歹有三星和海力士这种全球顶级的芯片制造商,日本人不敢真断供,断了韩国等于断了自己的客户。但中国的芯片制造商跟日本的关系没那么深。再加上这两年的出口管制越收越紧,供应链安全变成了一个必须面对的问题。
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中国高端半导体光刻胶的国产化率到底有多低?
g 线和 i 线,最低端的,国产化率大概20%到25%,凑合能用。KrF,做中端芯片用的,国产化率大约5%到10%。ArF,做先进制程芯片用的,国产化率不到1%。EUV,最顶级的,基本为零。
你看这组数字就明白了:越是核心、越是值钱的东西,中国越是没有。
但这几年有一些变化在发生。
彤程新材是一家做特种化学品的上市公司,旗下有个子公司叫北京科华。科华是国内 KrF 光刻胶的先行者,产品已经进了中芯国际、华虹、长江存储这几家国内最大的晶圆厂。在国内 KrF 光刻胶市场里,科华的占有率大概40%。
40%听起来不少,但得记住,KrF 光刻胶总体的国产化率才5%到10%。科华占的40%,是国产那一小块蛋糕里的40%。整个大盘子还是日本人的。
去年科华有一个数字很亮眼:ArF 光刻胶的营收同比增长超过800%。这是从一个很小的基数起来的,绝对金额不大,但方向对了。他们在上海化工园区建了一条自产树脂的产线,从源头开始做原料自主化。
另一个名字叫南大光电。这家公司在辽宁,是国内最早实现 ArF 光刻胶量产的企业。他们的 ArF 胶已经通过55纳米逻辑芯片的验证,在几家头部晶圆厂拿到了订单。去年 ArF 光刻胶的收入突破了2000万人民币。
2000万。听起来是不是不多?对,就是不多。日本 JSR 一家公司,光光刻胶这块的年收入就是几十亿美元级别的。南大光电那2000万人民币,跟人家比就是个零头。但换个角度想,三年前这个数字是零。
还有一家,徐州博康。这家公司做了一件别人没做的事:它把光刻胶的全产业链都打通了。从最上游的单体、树脂、光酸,到最下游的成品光刻胶,一条线全自己做。KrF 和 ArF 的中高端产品,都已经通过了中芯国际和长江存储的验证。
把这几家公司放在一起看,会发现一个有意思的格局:彤程新材在北京和上海,南大光电在辽宁,徐州博康在江苏徐州。苏州那边也有布局,晶瑞电材的子公司瑞红在苏州做 KrF 光刻胶的量产,苏州威迈芯材专门做光刻胶的核心原材料。
但跟日本比差距有多大呢?
美国战略与国际研究中心(CSIS)去年出过一份报告,专门分析了全球半导体材料的供应链。报告里有一句话翻译过来大意是:日本在高端半导体材料领域的地位,不亚于荷兰在光刻机领域的地位。
你品品这句话。阿斯麦的 EUV 光刻机,全世界只有它一家能造,被称为人类工业皇冠上的明珠。日本的光刻胶在它的领域里,垄断程度跟阿斯麦差不多。
日本政府很清楚自己手里这张牌有多值钱。2024年,日本的政府背景基金 JIC 花了大价钱把 JSR 私有化了,从东京证券交易所退市,变成国有控股。官方说的理由是「让 JSR 摆脱短期业绩压力,专注长期研发」,但明眼人都看得出来:日本政府不想让自己在半导体领域最关键的一张牌失去控制。
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说大白话:光刻胶对日本来说,就像稀土对中国一样,是战略级的筹码。
中国这边的企业在追,但追的是 KrF 和 ArF。EUV 光刻胶,目前国内还在实验室阶段。中科院化学所、华中科技大学、九峰山实验室都有团队在做,去年《极紫外光刻胶测试方法》的国家标准也立项了,但离真正量产,老实说还有距离。
英国《金融时报》那组关于「第二次中国冲击」的报道里提到过一个判断:中国在芯片制造的下游环节跑得很快,但上游材料是最难啃的一块骨头。光刻胶就是这块骨头里最硬的部分。
这话说得对。光刻胶的验证周期通常要两到三年。做出来了一批胶,送到晶圆厂,人家要拿去跑产线、做良率测试、做可靠性验证。一轮下来两三年过去了。就算验证通过了,还得从小批量供应慢慢放量。这不是砸钱就能缩短的过程。
但也有一件事正在起变化。这两年芯片制造的国产替代加速,国内的晶圆厂对国产光刻胶的态度从「不愿意试」变成了「主动来找」。以前做出来一批胶送过去,人家连测试的排期都不给你。现在不一样了,供应链安全的压力在那里,不试不行。
彤程新材的年报里有一个数字:它推进中的国产替代项目接近200个,其中超过30%已经进入量产验证或者实现了商用。这个数字说明一件事,下游的门开始慢慢推开了。
不过,我得泼盆冷水。
目前中国光刻胶企业做的主要还是 KrF 和 ArF 这两档。放在全球芯片制造的版图里,这对应的是成熟制程和中端先进制程。真正的最前沿,7纳米以下要用到的 EUV 光刻胶,别说量产了,配方层面都还没完全攻克。再加上 EUV 光刻机本身就进不来中国,胶和机器没法联调,这道墙短期内很难翻过去。
光刻胶这行最残酷的地方在于:不是做出一个好的配方就完了,得保证每一批次的品质完全一致。日本企业几十年积累下来的工艺稳定性,是最难复制的东西。可能做出一升跟日本人一样好的胶,但能连续做出一万升品质一模一样的吗?这是工程能力的问题,不是实验室能解决的。
不过你看整体趋势,方向是清楚的。从五年前国产化率几乎为零,到现在 KrF 有了稳定供货、ArF 开始放量、EUV 进入标准制定,这条路在一步步走。彤程新材的股价这两年也被资本市场盯上了,大基金三期的钱已经开始往半导体材料这个方向倾斜。
做光刻胶这行的人不多,全国加起来可能也就几千人。但这几千人正在做的事情,关系到中国整个芯片产业能不能真正站稳脚跟。一升胶几千块几万块,量不大,金额也不惊人,但卡住的是几万亿的下游产业。
有个做半导体材料的朋友跟我说过一句话:这行最苦的不是技术难,是做出来了人家不信你。得一遍一遍地证明自己,证明东西能用、好用、稳定。日本人花了四十年建立的信任,想三五年追上,不现实。但只要有人愿意给你机会试,这事就有戏。
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毕竟,现在最大的市场在中国。
加油!
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