至纯科技、至微半导体申请圆卡盘结构相关专利，防溅卡盘结构降污染、增强夹持稳固性

来源：新浪证券-红岸工作室

5月8日消息，国家知识产权局信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司、至微半导体（上海）有限公司申请一项名为“一种防溅液晶圆卡盘支撑结构”的专利。申请公布号为CN121969110A，申请号为CN202511998189.2，申请公布日期为2026年5月1日，申请日期为2025年12月28日，发明人林健、谢召军、沈一林，专利代理机构天津智行知识产权代理有限公司，专利代理师王洋，分类号H10P72/76、H10P72/00、B08B13/00、B08B3/04。

专利摘要显示，本发明公开了半导体清洗领域的一种防溅液晶圆卡盘支撑结构，其包括水平旋转基板及四个切向分布的一体式支撑件，支撑件一端设尖角状分流部以引导切向液流绕流，上半部由两个正圆锥部构成V型定位槽，通过圆锥壁与被清洗件倒角面的线或点接触实现支撑与自对中，顶端同轴设有倒圆锥部进行侧向限位。本发明通过流线型一体化设计减小迎流面积，将液滴溅射率由2.1%降至0.21%，有效防止药液交叉污染，同时利用圆锥相切界面将传统面接触优化为线接触，极大降低了颗粒污染风险及毛细吸附效应，增强了高速旋转下的夹持稳固性。

至纯科技成立于2000年11月13日，于2017年1月13日在上海证券交易所上市，注册地和办公地均为上海市。它是国内领先的半导体设备及服务提供商，核心业务覆盖半导体制程与工艺支持设备，具备全产业链服务的差异化优势。

至纯科技主营业务为半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，概念板块包括小盘、华为概念、专精特新。

2025年，至纯科技营业收入28.55亿元，在25家同行业公司中排名第10，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，高于行业中位数14.26亿元，但低于行业平均数41.44亿元。净利润为 - 7.71亿元，在行业中排名第25，与第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元差距巨大，远低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种高温磷酸供液方法发明专利公布CN202512046420.42025-12-31CN121953236A2026-05-01汤豪华、徐铭、陈新来、沈一林2一种小流量液体精密输送系统及控制方法发明专利公布CN202512044727.02025-12-31CN121969055A2026-05-01张高敏、王奎、马东、陈新来3半导体设备调度排片方法、系统、装置及存储介质发明专利公布CN202512039506.42025-12-31CN121956851A2026-05-01吴奥、冯明、马东、孙效义4一种防溅液晶圆卡盘支撑结构发明专利公布CN202511998189.22025-12-28CN121969110A2026-05-01林健、谢召军、沈一林5一种高温磷酸加热器发明专利公布CN202511992149.72025-12-26CN121924635A2026-04-24邵禄宇、徐铭、谢召军6一种晶圆装载翻转浸泡机构发明专利公布CN202511993765.42025-12-26CN121969074A2026-05-01费张宇、施钦天、杨柳柳、高卫华、张天博7一种半导体湿法清洗用高温化学液冷却机构及冷却设备发明专利公布CN202511978785.42025-12-25CN121539981A2026-02-17沈凯桦、汤豪华、徐铭、黄凯健、徐帅华8一种兼容多尺寸晶圆的马兰戈尼干燥方法发明专利公布CN202511978693.62025-12-25CN121631739A2026-03-10刘成洋、杨凯华、朱良康9一种防止底部挂液的喷嘴组件发明专利实质审查的生效、公布CN202511920211.12025-12-18CN121467246A2026-02-06谷衍品、王奎、张辉10一种晶圆对中方法及晶圆斜边清洗设备发明专利公布CN202511874549.82025-12-12CN121793708A2026-04-03王奎、解柳杨、张辉11一种IPA瞬热加热器发明专利公布CN202511753983.02025-11-26CN121539937A2026-02-17谢召军、徐铭、邵禄宇、蔡凯航12一种晶圆夹持装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511699282.32025-11-19CN121487553A2026-02-06解柳杨、王奎、陈新来13一种恒温换热器发明专利实质审查的生效、公布CN202511419428.42025-09-30CN121297274A2026-01-09谢召军、黄凯、邵禄宇14一种磷酸加热器发明专利公布CN202511418829.82025-09-29CN121442515A2026-01-30邵禄宇、徐铭、谢召军15一种磷酸槽的加热补水温控系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510924673.42025-07-04CN120803106A2025-10-17杨凯华、陈新来、沈一林16一种瞬时加热装置、瞬时加热方法及湿法清洗设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510392401.42025-03-31CN120403077A2025-08-01谢召军、徐铭17一种去除静电的二氧化碳混合器发明专利实质审查的生效、公布CN202411986017.92024-12-31CN119633630A2025-03-18谢召军、徐铭、邵禄宇、缪旭18一种半导体用水点的水质处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411979892.42024-12-31CN119638133A2025-03-18邵禄宇、徐铭、谢召军、缪旭19一种高纯高压液态二氧化碳输送系统实用新型授权CN202423320778.92024-12-31CN223595670U2025-11-25薛元、沈一林20一种臭氧水制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411898601.92024-12-23CN119633629A2025-03-18沈健锋、姜惠程、胡农、沈一林21一种在线臭氧水供液管路系统实用新型授权CN202423185370.52024-12-23CN223570451U2025-11-21沈健锋、姜惠程、胡农、沈一林22一种电加热尾气处理系统发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411695270.92024-11-25CN119499850A2025-02-25马东、洪梦华、时昌杰、殷正壮、赵薇薇23一种晶圆翻转进出装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411669824.82024-11-21CN119581379B2025-10-03兰天、万晓强、唐宝国、陈新来24一种螺母管接头组件的松紧检测方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202411459187.12024-10-18CN119269059A2025-01-07张静25拓扑保护光子线路设计方法及相关设备发明专利授权、公布CN202411443178.32024-10-16CN118962979B2025-04-18张钦廉、夏逢春、张静、王君杰、金晴26一种晶圆喷淋设备清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411378854.32024-09-30CN119281720A2025-01-10万晓强、盛涛、唐宝国、陈新来、沈一林27晶圆检测装置及晶圆片检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411146215.42024-08-20CN118800678A2024-10-18陈蕖、徐铭、屠国强、陈新来、沈一林28一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置实用新型授权CN202422022478.62024-08-20CN223390497U2025-09-26施钦天、屠国强、刘志鹏、崔佳伟29一种晶圆状态检测装置实用新型授权CN202422022476.72024-08-20CN223414034U2025-10-03施钦天、屠国强、徐铭、刘志鹏、陆赛浩、宋莹瑛30微光衍射元件补偿方法、系统、光学装置及存储介质发明专利授权、公布CN202411106780.82024-08-13CN118625468B2024-11-15张钦廉、夏逢春、张静、王君杰、金晴31一种清洗槽用晶圆承载装置实用新型授权CN202421682699.X2024-07-16CN223038933U2025-06-27陈龙、陈新来32一种高温粘稠废气排放管道实用新型授权CN202421397817.22024-06-18CN222738791U2025-04-11徐帅华、徐铭、汤豪华、李盼盼33一种晶圆盒上料检测机构实用新型授权CN202421141516.32024-05-23CN222355074U2025-01-14陆赛浩、陈聪、刘大威34一种液位检测装置及供液槽实用新型授权CN202421128111.62024-05-22CN222279872U2024-12-31徐帅华、刘大威、徐铭、李盼盼35一种管路连接结构及其装配方法发明专利著录事项变更、专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布CN202410520128.42024-04-28CN118188924A2024-06-14张静、杨鹏达36一种降低晶圆传输污染的夹持和翻转设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410450602.02024-04-15CN118571828A2024-08-30施钦天、屠国强、徐铭、刘志鹏、蒋渊37一种马兰戈尼干燥机摇摆机构实用新型授权CN202420777010.52024-04-15CN222747714U2025-04-11刘志鹏、刘大威、施钦天、陈蕖38一种分开取放晶圆的片叉单元结构、晶圆传输机构和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410403229.32024-04-03CN118471891A2024-08-09施钦天、陈蕖、杨鑫、徐铭、刘大威39一种喷气装置、马兰戈尼干燥机及干燥方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410395784.62024-04-02CN118073245A2024-05-24刘志鹏、马玉蓉、崔佳伟、施钦天、杨鑫、蒋渊40一种提高管路循环安全性的结构实用新型授权CN202420669582.12024-04-02CN222011673U2024-11-15黄豪亮、徐铭、刘大威、屠国强41一种用于气流均匀流动的喷气管道及马兰戈尼干燥机实用新型授权CN202420669588.92024-04-02CN222600923U2025-03-11崔佳伟、刘大威、徐铭、屠国强42一种晶圆传输装置实用新型授权CN202420669579.X2024-04-02CN222600943U2025-03-11施钦天、刘大威、徐铭、崔佳伟43一种易于晶圆定位的传送机构实用新型授权CN202420669576.62024-04-02CN222838819U2025-05-06杨鑫、陈蕖、徐铭、屠国强44一种水平运输的槽体运输装置实用新型授权CN202420656527.92024-04-01CN222833599U2025-05-06倪传涛、刘大威、吴凌峰45一种带晶圆顶升功能的旋转卡盘发明专利实质审查的生效、公布CN202410378998.22024-03-29CN118263184A2024-06-28谢闯、陈聪、刘大威46一种晶圆盒的定位锁止机构实用新型授权CN202420651668.12024-03-29CN223321249U2025-09-09陈蕖、徐铭、屠国强、刘大威47一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置实用新型授权CN202420623709.62024-03-28CN223038930U2025-06-27倪逸枫、吴凌峰、刘大威48一种提高控温稳定性的管路结构实用新型授权CN202420476054.42024-03-12CN221763311U2024-09-24谢闯、刘大威49晶圆卡盘内齿轮传动间隙检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410246562.82024-03-05CN117948864A2024-04-30张章、唐宝国、陈新来50晶圆卡盘圆心校准方法及晶圆卡盘检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410246560.92024-03-05CN118136573A2024-06-04刘颖、唐宝国、陈新来

天眼查数据显示，至微半导体（上海）有限公司成立日期2017年10月26日，法定代表人蒋渊，所属行业为批发业，企业规模为大型，注册资本53144万人民币，实缴资本52780万人民币，注册地址为上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室。至微半导体（上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息317条，拥有行政许可2个。

至微半导体（上海）有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种高温磷酸供液方法发明专利公布CN202512046420.42025-12-31CN121953236A2026-05-01汤豪华、徐铭、陈新来、沈一林2一种小流量液体精密输送系统及控制方法发明专利公布CN202512044727.02025-12-31CN121969055A2026-05-01张高敏、王奎、马东、陈新来3半导体设备调度排片方法、系统、装置及存储介质发明专利公布CN202512039506.42025-12-31CN121956851A2026-05-01吴奥、冯明、马东、孙效义4一种用于晶圆加热盘的冷却装置发明专利公布CN202512046044.92025-12-31CN121953696A2026-05-01薛栋豪、王奎、沈一林5一种可移动式晶圆缓存装置及晶圆传输系统发明专利实质审查的生效、公布CN202512028732.22025-12-30CN121793706A2026-04-03尤佳、朱俊杰、龚帅豪6混合液控制装置、方法和清洗设备发明专利公布CN202512010187.42025-12-29CN121908836A2026-04-21马东、施胜利、沈一林7一种晶圆夹持及其升降翻转装置发明专利公布CN202512009746.X2025-12-29CN121969111A2026-05-01万晓强、王奎、张辉8一种半导体清洗腔室的工艺排风系统发明专利公布CN202512010792.12025-12-29CN121945469A2026-05-01薛栋豪、王奎、张辉、沈一林9一种多位式晶圆取放片装置发明专利公布CN202512010306.62025-12-29CN121969096A2026-05-01朱俊杰、尤佳、龚帅豪、陈新来、张辉、陆赛浩10一种防溅液晶圆卡盘支撑结构发明专利公布CN202511998189.22025-12-28CN121969110A2026-05-01林健、谢召军、沈一林11一种高温磷酸加热器发明专利公布CN202511992149.72025-12-26CN121924635A2026-04-24邵禄宇、徐铭、谢召军12一种晶圆装载翻转浸泡机构发明专利公布CN202511993765.42025-12-26CN121969074A2026-05-01费张宇、施钦天、杨柳柳、高卫华、张天博13一种兼容多尺寸晶圆的马兰戈尼干燥方法发明专利公布CN202511978693.62025-12-25CN121631739A2026-03-10刘成洋、杨凯华、朱良康14一种防止底部挂液的喷嘴组件发明专利实质审查的生效、公布CN202511920211.12025-12-18CN121467246A2026-02-06谷衍品、王奎、张辉15一种具有回吸效果的电驱式复合阀门发明专利实质审查的生效、公布CN202511920172.52025-12-18CN121739130A2026-03-27王奎、张辉16一种晶圆对中方法及晶圆斜边清洗设备发明专利公布CN202511874549.82025-12-12CN121793708A2026-04-03王奎、解柳杨、张辉17一种用于半导体湿法设备的喷嘴防结晶装置与方法发明专利公布CN202511853150.12025-12-10CN121693053A2026-03-17陈翼、张辉、沈一林18一种可在喷嘴处混液的喷嘴结构发明专利公布CN202511753832.52025-11-26CN121534865A2026-02-17陆佳慧、王奎、张辉、沈一林19一种IPA瞬热加热器发明专利公布CN202511753983.02025-11-26CN121539937A2026-02-17谢召军、徐铭、邵禄宇、蔡凯航20一种晶圆夹持装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511699282.32025-11-19CN121487553A2026-02-06解柳杨、王奎、陈新来21一种自由调节角度的机械臂喷嘴机构发明专利实质审查的生效、公布CN202511652042.82025-11-12CN121171939A2025-12-19黄龙、陈新来、王奎22一种磷酸加热器发明专利公布CN202511418829.82025-09-29CN121442515A2026-01-30邵禄宇、徐铭、谢召军23一种磷酸槽的加热补水温控系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510924673.42025-07-04CN120803106A2025-10-17杨凯华、陈新来、沈一林24一种瞬时加热装置、瞬时加热方法及湿法清洗设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510392401.42025-03-31CN120403077A2025-08-01谢召军、徐铭25一种晶圆清洗槽实用新型授权CN202520215679.X2025-02-11CN223612383U2025-11-28姚军军、林忠宝、吴凌峰26一种去除静电的二氧化碳混合器发明专利实质审查的生效、公布CN202411986017.92024-12-31CN119633630A2025-03-18谢召军、徐铭、邵禄宇、缪旭27一种半导体用水点的水质处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411979892.42024-12-31CN119638133A2025-03-18邵禄宇、徐铭、谢召军、缪旭28一种湿进湿出和干出切换的传送系统和晶圆清洗系统实用新型授权CN202423253197.82024-12-28CN223829794U2026-01-23朱良康、倪逸枫、丁日成29一种晶圆清洗装置实用新型授权CN202423216140.02024-12-25CN223829768U2026-01-23陈军宇、季恺、吴凌峰30一种同时用于边抛和双抛晶圆清洗的传导系统和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411791519.62024-12-06CN119694933A2025-03-25倪传涛、林忠宝、吴凌峰31一种可调式鼓泡结构和晶圆清洗装置实用新型授权CN202422971834.92024-12-03CN223612370U2025-11-28季恺、吴凌峰、陈军宇32一种双套管鼓泡结构和晶圆清洗装置实用新型授权CN202422971836.82024-12-03CN223829764U2026-01-23季恺、吴凌峰、倪传涛33一种晶圆夹持翻转机构实用新型授权CN202422841312.72024-11-21CN223280057U2025-08-29兰天、陈新来、唐宝国34一种保护晶圆免受污染结构实用新型授权CN202422841310.82024-11-21CN223390545U2025-09-26黄龙、唐宝国、陈新来35一种晶圆翻转进出装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411669824.82024-11-21CN119581379B2025-10-03兰天、万晓强、唐宝国、陈新来36电子设备的槽式湿法清洗机设置展示的图形用户界面外观专利授权CN202430728657.42024-11-18CN309876842S2026-03-27董耀升、黄镜谕、施银莹37一种喷嘴结构实用新型授权CN202422790201.82024-11-15CN223491218U2025-10-31施胜利、唐宝国、张辉38一种机械臂的轴套密封结构实用新型授权CN202422746699.82024-11-11CN223242077U2025-08-19黄龙、唐宝国、陈新来39一种仓门结构实用新型授权CN202422747244.82024-11-11CN223387187U2025-09-26邢淳辉、陈新来、张辉40一种晶圆清洗药液输送管路结构实用新型授权CN202422486727.72024-10-15CN223282910U2025-08-29薛栋豪、唐宝国、陈新来、沈一林41一种供液装置实用新型授权CN202422481767.22024-10-14CN223382160U2025-09-26黄凯健、屠国强、徐铭42一种弯管储存烘直一体机实用新型授权CN202422467675.92024-10-12CN223236951U2025-08-19盛涛、褚宏旭、王成双43一种晶圆喷淋设备清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411378854.32024-09-30CN119281720A2025-01-10万晓强、盛涛、唐宝国、陈新来、沈一林44一种清洗喷淋喷嘴的装置实用新型授权CN202422394686.92024-09-30CN223250026U2025-08-22万晓强、唐宝国、陈新来、沈一林45一种晶圆喷淋臂清洗装置实用新型授权CN202422394683.52024-09-30CN223250025U2025-08-22万晓强、唐宝国、陈新来、沈一林46一种喷嘴固定结构实用新型授权CN202422394682.02024-09-30CN223276794U2025-08-29施胜利、唐宝国、陈新来、沈一林47晶圆检测装置及晶圆片检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411146215.42024-08-20CN118800678A2024-10-18陈蕖、徐铭、屠国强、陈新来、沈一林48一种晶圆盒开盖及晶圆状态检测装置实用新型授权CN202422022478.62024-08-20CN223390497U2025-09-26施钦天、屠国强、刘志鹏、崔佳伟49一种带翻转功能的上料机构实用新型授权CN202421807087.92024-07-29CN223032201U2025-06-27谢闯、陈新来、唐宝国50一种清洗槽用晶圆承载装置实用新型授权CN202421682699.X2024-07-16CN223038933U2025-06-27陈龙、陈新来

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