北京
国家知识产权局信息显示，上海高笙集成电路设备有限公司申请一项名为“一种基于多监测数据融合的尾气处理过程故障诊断方法”的专利，公开号CN121211206A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基于多监测数据融合的尾气处理过程故障诊断方法，属于半导体工艺中尾气处理技术领域。通过引入多监测数据融合分析的故障诊断策略，能够适应尾气处理过程的多故障目标监测的要求，提高故障数据的利用率，实现尾气处理过程的实时故障诊断。通过基于概率分布理论的多监测数据融合分析方法，半导体生产系统可以根据多类型的故障目标监测需求对尾气处理过程进行控制，实现对多故障目标的高效诊断，最大程度地满足半导体生产过程中的尾气处理要求，提高尾气处理过程故障诊断的可靠性和准确性。这将为半导体生产的尾气处理过程带来更高效、更准确的故障诊断方案。
天眼查资料显示，上海高笙集成电路设备有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1700万人民币。通过天眼查大数据分析，上海高笙集成电路设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息139条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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