北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“容器组件、室装置、半导体处理系统及制造容器组件方法”的专利，公开号CN 121054544 A，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，提供了一种容器组件。容器组件包括器皿、导管和护套。器皿由具有第一热导率的第一材料形成，导管安置在器皿中并且与器皿的内部连通，并且护套围绕器皿延伸并且由具有第二热导率的第二材料形成。第二热导率大于第一热导率，并且护套通过过盈配合固定到器皿，以限制对器皿与护套之间的热流的阻力。提供了室装置和半导体处理系统材料层沉积方法和制造容器组件的方法。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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