金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“电极板结构及离子束刻蚀系统”的专利,公开号CN120221368A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种电极板结构及离子束刻蚀系统,其中电极板结构包括:载片台,可绕所述载片台的中心轴旋转;位于所述载片台内的多个相互独立温度区,多个所述温度区以所述载片台的中心轴呈同心圆形式分布;与各所述温度区连接的调测温装置,用于分别调节各所述温度区的温度至预设温度;这种通过不同区域的温度调节来控制对应区域晶圆的温度,使得晶圆表面的对应温度区的温度达到预设温度,从而改变对应区域的腐蚀性气体离化后对样品的化学反应能力,达到改善整片晶圆均一性的目的,具有较广泛的适用范围。
天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目232次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息430条,此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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