北京
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“电极板结构及离子束刻蚀系统”的专利，公开号CN120221368A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种电极板结构及离子束刻蚀系统，其中电极板结构包括：载片台，可绕所述载片台的中心轴旋转；位于所述载片台内的多个相互独立温度区，多个所述温度区以所述载片台的中心轴呈同心圆形式分布；与各所述温度区连接的调测温装置，用于分别调节各所述温度区的温度至预设温度；这种通过不同区域的温度调节来控制对应区域晶圆的温度，使得晶圆表面的对应温度区的温度达到预设温度，从而改变对应区域的腐蚀性气体离化后对样品的化学反应能力，达到改善整片晶圆均一性的目的，具有较广泛的适用范围。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目232次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息430条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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