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金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“用于测量光学系统中下降的电压的测量装置和测量方法、光学系统和光刻系统”的专利，公开号CN119907925A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于光学系统（300）的测量装置（400），包括：输入节点（K1），用于接收在光学系统（300）中下降的电压（V2）；电容式分压器（410），其能够连接到所述输入节点（K1）并且包括由包括测量电容器（C2）的至少两个电容器（C1、C2）构成的串联电路，其中，所述电容式分压器（410）被设计为提供在所述测量电容器（C2）处下降的测量电压（V3），所述测量电压低于在所述输入节点（K1）处接收的电压（V2）并且与在所述输入节点（K1）处接收的电压（V2）成正比；以及可控第一开关（S1），其耦合在所述输入节点（K1）和所述电容式分压器（410）之间，并且被设计为基于控制信号（SE1）将所述电容式分压器（410）连接到所述输入节点（K1）。
本文源自：金融界
作者：情报员
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