上海
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆隐裂检测装置”，专利申请号为CN202520756078.X，授权日为2026年5月8日。
专利摘要：本申请公开了一种晶圆隐裂检测装置，包括：移动组件，移动组件包括导热管、驱动单元和至少一个沿设定方向延伸的导轨；隐裂检测组件，隐裂检测组件包括用于固定晶圆的工作载台，工作载台安装于导轨，并能够在驱动单元的作用下沿设定方向相对导轨移动，工作载台的至少部分覆盖导热管；视觉检测组件，视觉检测组件包括红外检测相机，红外检测相机用于拍摄经导热管加热后的晶圆的图像。该装置可以对加热后的晶圆进行隐裂检测，提高了对晶圆隐裂缺陷的检测效果。
今年以来晶盛机电新获得专利授权31个，较去年同期减少了40.38%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了9.55亿元，同比减14.67%。
通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了37家企业，参与招投标项目232次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1159条，著作权信息146条；此外企业还拥有行政许可40个。
数据来源：天眼查APP
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