北京
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“一种工艺终点的检测方法及半导体设备”的专利，公开号CN121419610A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请涉及一种工艺终点的检测方法及半导体设备，检测方法包括，向吸收池内吹扫惰性气体，采集惰性气体的惰性气体干涉图得到初始背景光谱，将初始背景光谱作为基准背景光谱；停止惰性气体的吹扫，将半导体设备的尾气排放管路中的待检测气体通入吸收池，采集待检测气体干涉图并得到样品光谱；以设定时间为周期，获取检测背景光谱；判断是否需要将检测背景光谱更新为基准背景光谱；在预设条件下，测定待检测气体中的至少三种特征气体的标准吸光度系数k并构建系数矩阵K；根据系数矩阵K获取对应的特征气体的浓度c；设定浓度阈值、浓度变化率阈值以及副产物突变阈值，并判断是否到达工艺终点。本发明的光谱检测范围宽且检测过程稳定。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本283.866万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息75条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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