国家知识产权局信息显示,无锡爱尔华光电科技有限公司申请一项名为“一种PECVD无遮挡全面镀膜工艺结构”的专利,公开号CN121407067A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明涉及镀膜技术领域,具体为一种PECVD无遮挡全面镀膜工艺结构,其能够保障成膜均匀性,提高基板利用率和生产良率,降低成本,其包括下部电极和遮挡框,所述下部电极上开设有氩气通孔,所述氩气通孔连通氩气进气管,所述电极的上表面边缘设置有绝缘框,所述绝缘框的内侧面设置有基板支撑台阶和内定位斜面、外侧面为外限位斜面,所述内定位斜面与所述基板支撑台阶的夹角为100°‑150°,所述遮挡框的内侧面与所述绝缘框的外限位斜面配合。
天眼查资料显示,无锡爱尔华光电科技有限公司,成立于2020年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1166.73万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡爱尔华光电科技有限公司共对外投资了2家企业,专利信息41条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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