北京
国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种鳍式场效应晶体管及其形成方法”的专利，公开号CN121398041A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请提供一种鳍式场效应晶体管及其形成方法，形成半导体结构；半导体结构包括位于衬底一侧的多个鳍、保护层和光刻胶层；多个鳍包括伪鳍，光刻胶层具有沟槽；对沟槽进行测量得到第一尺寸和中心偏移量；根据第一尺寸、中心偏移量和目标区域的第二尺寸，确定第一修正量和第二修正量；第一修正量和第二修正量为在排列方向上，分别沿正方向和负方向的修正量；根据第一修正量和第二修正量，对沟槽进行离子束刻蚀处理得到目标沟槽。这样，预先确定出沟槽相对于目标区域的位置偏差，利用离子束刻蚀对沟槽进行扩大，修正沟槽的大小及位置以使其位于伪鳍的正上方，保障能够对待去除的伪鳍进行精确刻蚀，避免对其他鳍造成损伤，提高器件性能。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目258次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息472条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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