北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“使用压缩干燥空气的衬底处理中的增强安全性系统”的专利，公开号CN121237684A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，一种衬底处理中的安全系统，包括：配置为处理衬底的衬底处理设备，该设备包括室和喷淋头；配置为从外部PCW源接收工艺冷却水(PCW)用于冷却衬底处理设备的输入管线；设置在输入管线的入口处以控制PCW的输入的入口阀；配置为从衬底处理设备收集用于冷却的PCW和排出所收集的PCW的排放管线；配置为连接在输入管线和排放管线之间的多个通道，并且PCW在通道内部流动；以及安全单元，其配置为将压缩干燥空气(CDA)注入输入管线和/或从多个通道和排放管线清除CDA和PCW。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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