中国EUV光刻机！光学镜头成关键

被忽视的核心部件

其实啊，一台EUV光刻机，零件多得吓人，几十万个都不止。不过说白了，它主要就由三个大块组成：一个是光源，一个是物镜系统，还有一个就是工作台。

其他类型的光刻机也差不多，基本上也是这三个核心部分组成的。

不过说实话，在这三块里面，有一个部分可能被很多人给忽略了，尤其是咱们国内的网友们，关注得比较少，甚至有时候根本没怎么提。

EUV光刻机技术差距

也就是说，现在大家说的EUV光刻机，其实重点并不在镜头，而是在光源。不信大家可以去看看相关的报道，很多都在讲EUV光源的技术突破，说什么我们有了更好的方案，不用ASML那种用锡珠来产生EUV光的模式。

但其实啊，在光学镜头这块儿，咱们跟国际先进水平还有很大差距。

现在整个EUV光刻机里面，光学镜头只有一个供应商，就是德国的蔡司。全球就只有他们一家能造出EUV光刻机需要的那种高精度镜头。

ASML与蔡司的深度合作

他家的镜头到底有多厉害？网上有句挺夸张的话：“如果把镜头放大到一个地球那么大，上面只能有一根头发丝那么高的凸起。”这种精度，全球只有他们能做到。

正因如此，早在十年前，ASML就觉得必须把蔡司拉进自己的队伍。因为只有和蔡司利益一致，才能保证自己在行业里的地位。于是，ASML花了10亿欧元，买下了蔡司半导体25%的股份，之后还不断追加投资，两家成了真正的“利益共同体”。而蔡司专门为ASML提供的EUV光刻镜头，全世界只给他们供货，根本不对外卖。

蔡司镜头主导光刻机市场

当然可以，下面是用更口语化的方式改写的内容：

不只是EUV光刻机，ASML几乎所有的光刻机里，用的都是蔡司的镜头。不仅如此，日本的尼康和佳能一些比较先进的光刻机，也用的是蔡司的镜头。

按行业内的说法，现在全球90%的芯片制造都离不开蔡司提供的光学镜头。而且越先进的芯片，对蔡司镜头的依赖就越强。所以大家也经常说，蔡司的镜头是光刻机里的“上帝之眼”。如果你的芯片没被“上帝之眼”看过，那很可能说明你的芯片还不够先进。

所以，如果你想自己搞出EUV光刻机，光有光源还远远不够，光学镜头这块也是必须攻克的难关。

目前来看，国内在光学镜头方面跟蔡司的差距真的挺大的，不管是制造工艺、精度还是表面平整度这些指标，都差得不是一星半点。这种差距是多方面的，不仅仅是技术上的代差，更像是几个世代的差距。

这几年国内也有一些企业在光学镜头领域开始发力，不断取得突破，但大部分还是用在手机、摄像头这些相对简单的镜头上。至于那种能用在光刻机上的高精度光学器件，目前基本上还是没有的。

EUV光刻机光学镜头关键

所以说啊，光学镜头在我们研发EUV光刻机的过程中 really 非常关键，别光盯着EUV光源看，光有光源没用，要是光学镜头搞不定，EUV光刻机也造不出来。甚至有些业内人士说，我们现在连浸润式光刻机的光学镜头都还没完全搞定，更别说EUV这种更高端的了。