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金融界 2025 年 4 月 2 日消息，国家知识产权局信息显示，FEI 公司申请一项名为“像差校正系统和包括该校正系统系统的带电粒子显微镜系统”的专利，公开号 CN 119742211 A，申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示，像差校正系统和包括该校正系统系统的带电粒子显微镜系统。本文提供了像差校正系统和包括该像差校正系统的带电粒子显微镜系统。装置可包括被配置为至少部分地校正该带电粒子束的轴向色差的多个静电多极元件。该装置还包括具有校正器静电棱镜的偏转器组件。该校正器静电棱镜可包括第一校正器棱镜电极和第二校正器棱镜电极，该第一校正器棱镜电极和该第二校正器棱镜电极在其间限定电极间隙，并且偏转器光轴在该电极间隙内延伸。该多个静电多极元件可包括第一六极产生元件、第二六极产生元件、第三六极产生元件和/或第四六极产生元件。在一些示例中，该第二六极产生元件邻近该偏转器光轴的中点定位。在一些示例中，该第二六极产生元件和该第三六极产生元件中的每一者至少部分地定位在该校正器静电棱镜内。
本文源自：金融界
作者：情报员
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