金融界2025年1月20日消息,国家知识产权局信息显示,源能智创(江苏)半导体有限公司取得一项名为“一种LDI曝光设备”的专利,授权公告号CN 222354271 U,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种LDI曝光设备,所述LDI曝光设备包括设置于曝光平台上侧的曝光镜头装置,所述曝光镜头装置中的DMD照明组件位于所述光学镜头组件的上侧,并且所述光学镜头组件和所述DMD照明组件之间设置有可伸缩的连接套,由于DMD照明组件和光学镜头组件采用分离式设计能够实现DMD照明组件和光学镜头组件相对运动,在调节光学镜头组件高度时DMD照明组件保持不动,既解决了LDI曝光设备离焦的问题,又保证了DMD照明组件的位置精度。另外,本实用新型中设置的可伸缩的连接套,既能避免环境中的灰尘和光源进入曝光镜头装置,还能通过改变自身的伸缩量随光学镜头组件同步运动、实现自由调节光学镜头组件的高度,解决LDI曝光设备离焦的问题。
天眼查资料显示,源能智创(江苏)半导体有限公司,成立于2018年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币,实缴资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,源能智创(江苏)半导体有限公司参与招投标项目14次,知识产权方面有商标信息5条,专利信息38条,此外企业还拥有行政许可11个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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