在化纤生产中常将高纯氮作为保护气体,以防止化纤产品在生产中被氧化而影响色泽。氮气纯度愈高,化纤产品的颜色愈漂亮。气体质量流量控制器通过给化纤生产过程提供所需流量的高纯氮气,有效提高生产效率,降低生产成本。
采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.
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