北京
国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“等离子体刻蚀设备及其调频方法”的专利，公开号CN122658982A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种等离子体刻蚀设备及其调频方法，所述设备包括反应腔室和射频电源，用于实现包括至少两个依次循环的步骤的等离子体工艺，每个步骤分别包括工艺过渡阶段和工艺稳定阶段，所述方法包括：在各步骤的工艺过渡阶段，控制射频电源以固定频率工作，该固定频率为相应步骤对应的预设初始频率；待各步骤进入工艺稳定阶段后，调节射频电源的频率，以得到相应步骤在当前循环下对应的匹配频率，其中，当各步骤首次执行时，以相应步骤对应的预设初始频率为起点调节射频电源的频率，当各步骤非首次执行时，以前次循环中相应步骤的匹配频率为起点调节射频电源的频率。本发明能够在步骤循环切换的等离子体工艺中实现等离子体阻抗的快速精准匹配。
天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目30次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息294条，此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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