北京
国家知识产权局信息显示，浙江执一半导体有限公司申请一项名为“静电卡盘漏率检测系统”的专利，公开号CN122306332A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本申请公开了一种静电卡盘漏率检测系统，包括：多个通路，连接气源与待测静电卡盘的真空腔室，传输由气源向真空腔室提供的气体；多个通用压力控制器模块设置于真空腔室的外部，并与多个通路一一对应接入，各通用压力控制器模块包括通用压力控制器、压力传感器、流量传感器和电动调节阀；主控单元模块与多个通用压力控制器模块通信连接，用于：将配置的预设电压和预设背压输入预设的电压‑背压‑漏率的三维动态关联模型，以输出对应的漏率预测值；在基于漏率预测值与通过各通路采集的气体流量检测的漏率检测值判定待测静电卡盘存在漏点时，通过各通用压力控制器控制对应电动调节阀调节传输至真空腔室的气体流量，以形成预设背压。
天眼查资料显示，浙江执一半导体有限公司，成立于2025年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江执一半导体有限公司专利信息1条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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