在半导体封测、晶圆代工、芯片蚀刻及精密电子设备制造等领域,高温炽热气体的循环输送、抽吸与排放对软管的耐温性能、洁净度与机械强度提出了严格要求。为此,我们提供一款内壁光滑、具备耐高温特性的软管产品,适用于无尘室环境及多种高温气流引导场景。
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应用范围
该软管可用于热气和冷气的引导,广泛应用于半导体行业、晶圆洁净度检测机器、精密电子设备电路板印刷设备、半导体封测、晶圆代工及芯片蚀刻等工艺制程中的高温炽热气体循环输送、抽吸及排放。同时,它适用于无尘室内使用设备的通风排气、除尘、抽取式洁净厂房、暖器排出、鼓风暖炉排出、焊气排出,以及引擎结构、加热引擎、航空器设备和军事设备等用途。
结构与材料
该软管采用螺旋丝紧紧包覆于管壁的结构设计,管壁材料为特殊高温涂层。螺旋丝可接地以实现排静电功能(依据BGR-132标准),有助于降低静电积聚风险。
产品内壁光滑,具备耐高压、耐真空及耐压缩能力。同时,该软管具有较高的轴向强度,流动阻力较小,能够承受一定程度的机械应力。
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性能特点
l耐温性能:该软管常规使用温度范围约为-60℃至+260℃,短时间使用可承受约+300℃的高温,适用于高温工艺环境。
l化学稳定性:产品具备良好的抗化学性能,能够耐受多种化学介质的侵蚀。同时具有抗微生物及水解特性。
l弯曲性能:弯曲半径约为软管外径的1.5倍,便于在有限空间内进行管路布置。
l洁净适用性:适用于无尘室环境,可用于洁净厂房的通风排气与除尘系统。
规格范围
该软管可提供内径19mm至400mm的多种规格,用户可根据实际工艺需求进行选择。
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