国产率不到2%！让中国芯片厂毫无办法的瑞士产品，东北正在挑战

一台售价超过26亿人民币的EUV光刻机，内部有超过10万个零件。 其中一些控制气体进出的精密阀门，比手掌大不了多少，单台设备里可能要用到上百个。

它们几乎全部来自一家瑞士公司，VAT Group。

2026年4月29日，一家来自中国沈阳的企业在北京证券交易所敲钟上市。 股票代码920186，公司简称中科仪。 上市首日，股价收盘报71.98元，较发行价上涨了344.05%。

中科仪的全称是中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，它的主要产品之一是干式真空泵。 在芯片制造中，真空泵和真空阀门是一对搭档，一个负责把腔体内的空气抽走，另一个负责精确控制工艺气体的进出。

这家公司的上市，被看作是中国半导体核心零部件突围的一个信号。

真空阀门是半导体设备里技术壁垒极高的“心脏部件”。 芯片制造中的光刻、刻蚀、薄膜沉积等核心工艺，都需要在接近绝对真空的环境下进行。 以EUV光刻为例，其使用的13.5纳米极紫外光，在空气中传播几毫米就会被吸收殆尽。 因此，光刻机内部必须被抽到超高真空状态，压强低至大气压的百亿分之一。

在这种极端环境下，阀门不仅要实现开关，更要精确控制特种气体的流量、压力和时序，同时保证绝对不漏气、不产生任何肉眼看不见的微粒。 一个阀门的微小泄漏或一颗微粒脱落，就可能导致整片价值数千美元的晶圆报废，让价值数亿的设备停机。

瑞士的VAT公司在这个领域深耕了超过六十年。 根据其2025年财报，公司全年营收达到10.73亿瑞士法郎，约合80亿人民币。 在半导体真空阀门这个细分市场，VAT的全球占有率保持在71%。 在更先进的逻辑和存储芯片制造设备中，这个比例据说超过90%。

这意味着，全球主要的芯片设备商，如ASML、应用材料、东京电子，其产线上安装的真空阀门，大部分印着VAT的logo。

中国的芯片制造厂和设备厂，每年需要采购大量的这类阀门。 一份行业报告显示，中国半导体设备使用的高端真空阀门，国产自给率不到2%。

这个数字背后是一个现实：当我们谈论国产刻蚀机、国产薄膜沉积设备取得突破时，拆开这些设备的金属外壳，里面控制工艺气体的精密阀门、抽取真空的泵、提供能量的射频电源，很大程度上仍然依赖进口。

设备是国产的，核心零件是别人的。

沈阳，这座以重工业闻名的城市，正在试图改变这个局面。

在沈阳的浑南区，一片名为“北方芯谷”的区域，聚集了57家集成电路相关企业。 它们构成了一个独特的“整机+零部件”产业集群。

这里有做薄膜沉积设备的拓荆科技，有做涂胶显影设备的芯源微，有做晶圆搬运机器人的新松半导体。 也有专门为这些设备制造“心脏”和“血管”的企业——比如富创精密和中科仪。

富创精密生产的是精密腔体、结构件和气体传输系统。 你可以把它理解为半导体设备的金属骨架和内部管路。 它的创始人郑广文，早年是做汽车4S店生意的。 2008年，他创立了富创精密，跨界进入半导体精密零部件领域。

起步异常艰难。 半导体零部件的加工精度要求是纳米级，表面粗糙度堪比镜面，焊缝不能有一个气孔。 更难的环节是客户验证。 芯片产线停一天的损失以百万计，设备商和晶圆厂对于更换一个新的零部件供应商极其谨慎，验证周期往往长达一至三年。

富创精密扛了过来。 根据其2025年年报，公司营收达到35.43亿元，同比增长16.58%。 其中，气体传输系统业务营收11.06亿元，增长了超过25%。 它的客户名单里，既有北方华创、中微公司这样的国内设备龙头，也有应用材料、东京电子这样的国际巨头。

2025年，富创精密为拓展产能和进行技术研发投入了大量资金，导致当年净利润出现亏损。 但这笔战略投入，是为了夯实长期竞争的基础。

中科仪走的是另一条路。 它的前身是1958年成立的中科院沈阳科学仪器研制中心，带着深厚的科研基因。 它主攻的是干式真空泵。

在芯片制造的真空系统里，泵是“抽气”的核心。 过去，这块市场同样被欧美日企业垄断。 中科仪实现了突破，成为国内唯一一家产品在14纳米先进逻辑芯片和128层以上3D NAND存储器产线上实现批量应用的国产干泵企业。

2025年，中科仪营收12.91亿元。 2026年第一季度，其净利润达到1.72亿元，同比增幅高达938.68%。 上市募集的资金，将用于扩大干式真空泵的产能和研发新一代产品。

一家卖汽车出身，一家源于国家级科研院所。 它们从不同的起点出发，最终都扎进了半导体核心零部件这个需要极致耐心和技术的领域。

在真空阀门这个更具体的赛道上，挑战更为严峻。

VAT的护城河不仅在于设计和制造，更在于长达数十年的“工艺积累”和“客户信任”。 它的阀门材料配方、表面处理工艺、长期可靠性数据，是拆开产品也学不来的“隐性知识”。 它几乎参与了所有顶级设备厂商每一代新设备的早期开发，阀门与设备是深度联调优化的。

这种绑定关系，让后来者很难切入。

但尝试已经开始。 在江苏昆山，上市公司新莱应材旗下的“AdvanTorr”品牌真空阀，真空度可以达到10⁻¹² Torr级别，并且通过了美国顶级半导体设备厂商的特殊工艺认证，成为其一级供应商。 2025年，新莱应材营收约30亿元，但其业务还包括生物医药等领域，与专注阀门的VAT体量不同。

在江苏无锡，索奥精密阀门有限公司在2025年7月宣布，其自主研发的半导体真空钟摆阀完成技术攻关，已交付国内头部客户验证。 钟摆阀是应用于刻蚀与沉积设备的高端阀门，此前几乎全部依赖进口。

在上海，左麟阀门等初创企业采用了不同的策略。 它们组建了兼具国际大厂经验和本土fab厂背景的团队，与芯片制造厂合作定义产品需求，再与设备商协同设计。 其研发的压力控制器已获得国内设备龙头企业批量订单，取代了美国产品。 据测算，使用其国产真空阀可使单台设备成本降低15%-20%，维修响应时间从国际厂商的3-4周缩短至24小时内。

这些进展意味着，在28纳米以上的成熟制程领域，国产真空阀门开始具备替代能力。 国内晶圆厂在成熟节点上的持续扩产，提供了最直接的市场空间。

差距依然清晰可见。 VAT一家公司2025年在半导体及相关真空阀门领域的营收就超过10亿瑞士法郎。 而中国所有相关企业的营收总和，可能还不及这个数字的零头。

更大的差距在于时间。 半导体行业客户更换一个阀门供应商，需要积累长达一年甚至更久的稳定性运行数据。 这不是一次性能测试达标就能通过的考试，而是一场关于长期可靠性的马拉松。

沈阳的产业集群提供了一种可能性。 当拓荆科技需要腔体，富创精密就在附近；当中科仪需要验证真空泵与阀门的匹配，产业链上的伙伴可以快速协同。 这种地理上的聚集，降低了沟通和试错成本。

北方芯谷规划占地面积5.1平方公里，目标是打造国家集成电路装备零部件产业的北方“芯高地”。 这里的企业，构成了一个以6家龙头企业为主体，N家配套企业支撑的“6+N”产业体系。

这个体系的意义在于，它试图在局部构建一个内循环。 从设备整机到核心零部件，从研发到量产，在一个相对紧密的区域内完成协作。

一台复杂的半导体设备，由成千上万个零件组成。 突破，正在从一个个具体的“点”开始发生。 一个真空泵，一个腔体，一段气体管路，再到一个阀门。

这些突破是缓慢的、具体的，需要一遍遍测试、修改、再测试。 它们不像整机下线那样引人注目，但恰恰是这些“点”的连成线、铺成面，最终决定了一条产业链真正的自主程度。

瑞士的VAT公司2025年财报显示，其全年订单中，有32%的销售额来自中国。 这个市场，既滋养了全球巨头，也正在催生本地的挑战者。